[实用新型]一种用于玻璃HF腐蚀的多层金属掩膜种子层有效
| 申请号： | 201821051080.3 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN208378727U | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 陈乐;钱正芳;孙一翎;舒国响;陈肇聪 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36 |
| 代理公司： | 温州市品创专利商标代理事务所(普通合伙) 33247 | 代理人： | 程春生 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜 多层金属 种子层 腐蚀 玻璃 本实用新型 玻璃腐蚀 针孔现象 掩膜层 衬底 三层 钻蚀 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于玻璃HF腐蚀的多层金属掩膜种子层，其特征是所述金属掩膜种子层为多层，自玻璃衬底向上依次形成Cr/Cu/Cr/Cu的复掩膜层结构。
2.如权利要求1所述的一种用于玻璃HF腐蚀的多层金属掩膜种子层，其特征是所述金属掩膜种子层为四层。
3.如权利要求1所述的一种用于玻璃HF腐蚀的多层金属掩膜种子层，其特征是所述第一、三层的Cr层的厚度为10-100nm，第二、四层的Cu层的厚度为100-300nm。
4.如权利要求3所述的一种用于玻璃HF腐蚀的多层金属掩膜种子层，其特征是所述第一、三层的Cr层的厚度为50nm，第二、四层的Cu层的厚度为200nm。
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