[实用新型]一种砷化镓单晶生产设备

权利要求书

1.一种砷化镓单晶生产设备，其特征在于：包括坩埚、石英管和生长炉，所述坩埚内形成长方体状的生长腔体，所述石英管内形成密闭的真空腔体，所述坩埚固定在真空腔体内，所述石英管固定在所述生长炉内。

2.根据权利要求1所述的砷化镓单晶生产设备，其特征在于：所述坩埚包括由下至上依次连接的原料段、放肩段和生长段，所述原料段内形成籽晶腔体，所述放肩段内形成与所述籽晶腔体连通的第一过渡腔体，所述生长段内形成与所述第一过渡腔体连通的长方体状的所述生长腔体。

3.根据权利要求2所述的砷化镓单晶生产设备，其特征在于：所述籽晶腔体为圆柱状腔体或长方体状腔体。

4.根据权利要求2所述的砷化镓单晶生产设备，其特征在于：所述第一过渡腔体为圆台状腔体或方椎体状腔体。

5.根据权利要求2所述的砷化镓单晶生产设备，其特征在于：所述石英管包括由上至下依次连接的第一段、第二段和第三段，所述第一段内形成与所述原料段形状、尺寸相适配的第一腔体，所述原料段位于所述第一腔体内；

所述第二段内形成与所述放肩段形状尺寸相适配的第二过渡腔体，所述放肩段卡在所述第二过渡腔体内；

所述第三段内形成与所述生长段形状尺寸相适配的第二腔体，所述生长段位于所述第二腔体内。

6.根据权利要求5所述的砷化镓单晶生产设备，其特征在于：所述第一腔体为圆柱状腔体或长方体状腔体。

7.根据权利要求5所述的砷化镓单晶生产设备，其特征在于：所述第二过渡腔体为圆台状腔体或方椎体状腔体。

8.根据权利要求5所述的砷化镓单晶生产设备，其特征在于：所述第二腔体为圆柱状腔体或长方体状腔体。

9.根据权利要求1至8任一项所述的砷化镓单晶生产设备，其特征在于：所述生长炉内形成加热区，所述加热区包括有下至上依次设置的第一区、第二区、第三区、第四区、第五区和第六区，所述第一区、第二区、第三区、第四区、第五区和第六区均设有独立的加热机构。

10.根据权利要求9所述的砷化镓单晶生产设备，其特征在于：所述坩埚为PBN坩埚或石墨坩埚。