[实用新型]一种钼片镀膜防护装置有效

专利信息
申请号: 201821052973.X 申请日: 2018-07-04
公开(公告)号: CN208440692U 公开(公告)日: 2019-01-29
发明(设计)人: 郭顺华;陈敏 申请(专利权)人: 江苏时代华宜电子科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/04
代理公司: 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 代理人: 张欢勇
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 固定环 定位环 镀膜 钼片 外周 本实用新型 弹性收缩环 防护装置 上环 下环 金属材质 局部镀膜 上下对称 圆形钼片 内周面 圈凹槽 内套 内周 密封 匹配 契合 面包 覆盖
【说明书】:

实用新型属于钼片加工工艺,具体涉及一种钼片镀膜防护装置,包括固定环和位于固定环内侧的定位环,所述固定环和定位环均采用金属材质,所述定位环内周面与待镀膜的圆形钼片相接,外周面上设置有一圈凹槽,所述凹槽内套接有固定环,且凹槽与固定环相契合,所述定位环由上下对称的上环和下环组成,所述上环和下环结构相同,所述弹性收缩环固定在固定环的外周面上,且弹性收缩环内周面上环设有与固定环相匹配的沟槽。本实用新型解决了目前局部镀膜工艺差,难以实施的问题,通过固定环与定位环的设置,将钼片外周面包覆密封,达到覆盖不镀膜的效果,简单易行,实用性强。

技术领域

本实用新型属于钼片加工工艺,具体涉及一种钼片镀膜防护装置。

背景技术

钼是一种耐高温材料,但钼材表面易生成的氧化膜,该氧化膜对钼不能起到任何保护作用,因此在高温环境下钼材极易产生强烈的氧化。为了改善钼片表面的耐热性和导电性等性能,需在钼片上镀覆镀层。用于电子材料领域的钼片,通常在其表面上镀钌以改善钼片材料的导电性能、耐热性能、钎焊性能,并减少或防止材料的氧化。而物理气相沉积镀钌是最为常规的镀钌方式,物理气相沉积法镀膜过程中,工件所有的表面均有镀覆一层薄膜,但是由于实际工作的需要,一般圆形钼片的外周面有时候并不需要镀膜,若采用先镀膜后清理的方式进行处理,钼片尺寸偏差较大,且会造成钼片的报废率上升。面对这一问题,目前还未有方法能够有效解决。

实用新型内容

针对现有技术中的问题,本实用新型提供一种钼片镀膜防护装置,解决了目前局部镀膜工艺差,难以实施的问题,通过固定环与定位环的设置,将钼片外周面包覆密封,达到覆盖不镀膜的效果,简单易行,实用性强。

为实现以上技术目的,本实用新型的技术方案是:

一种钼片镀膜防护装置,包括固定环和位于固定环内侧的定位环,所述固定环和定位环均采用金属材质,所述定位环内周面与待镀膜的圆形钼片相接,外周面上设置有一圈凹槽,所述凹槽内套接有固定环,且凹槽与固定环相契合,所述定位环由上下对称的上环和下环组成,所述上环和下环结构相同,所述弹性收缩环固定在固定环的外周面上,且弹性收缩环内周面上环设有与固定环相匹配的沟槽。

所述定位环采用微孔结构。

所述定位环内周面的厚度与待镀膜的圆形钼片的厚度一致,所述定位环外周面的厚度是内周面厚度的2倍。

所述定位环内周面设置有防护密封层,所述防护密封层的厚度为1-5mm。

所述密封层采用氟橡胶材料。

所述固定环的厚度与待镀膜的圆形钼片的厚度一致。

所述弹性收缩环采用氟橡胶材料。

从以上描述可以看出,本实用新型具备以下优点:

1.本实用新型解决了目前局部镀膜工艺差,难以实施的问题,通过固定环与定位环的设置,将钼片外周面包覆密封,达到覆盖不镀膜的效果,简单易行,实用性强。

2.本实用新型采用上下对称的上环和下环作为定位环,不仅具有良好的拆接性,同时方便定位调整效果。

3.本实用新型采用微孔结构的定位环,能够起到良好的微压缩效果,增加了整体的使用性。

4.本实用新型采用防护密封层作为内周面,不仅能够起到密封微孔的效果,同时采用橡胶材料的防护密封层具备一定弹性,形成一定量的收缩,提升钼片的定位固定效果。

附图说明

图1是本实用新型实施例1的纵向剖面示意图。

具体实施方式

结合图1,详细说明本实用新型的一个具体实施例,但不对本实用新型的权利要求做任何限定。

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