[实用新型]一种精准的膜片对位固定机构

权利要求书

1.一种精准的膜片对位固定机构，其特征在于，包括膜片对位底板、膜片X轴对位校准机构、膜片定位机构和膜片Y轴对位校准机构；所述膜片定位机构中可放置膜片；通过膜片Y轴对位校准机构以及膜片X轴对位校准机构中的气动作用，所述膜片Y轴对位校准机构以及膜片X轴对位校准机构与所述膜片的边缘接触，使所述膜片在X轴和Y轴方向上的定位；通过所述膜片定位机构将所述膜片吸住。

2.根据权利要求1所述的一种精准的膜片对位固定机构，其特征在于，所述膜片X轴对位校准机构和膜片Y轴对位校准机构均包括膜片夹子对位底板、膜片滑台气缸安装板、膜片滑台气缸和膜片夹子；所述膜片夹子的前端与所述膜片的边缘接触来调整位置；所述滑台气缸安装板和所述膜片滑台气缸依次安装在所述膜片夹子对位底板上，所述膜片夹子通过夹子固定块与所述膜片滑台气缸连接，通过滑台来调整所述膜片夹子的前后移动距离，通过所述膜片滑台气缸提供膜片夹子气动作用的动力，实现原位与工作位的切换。

3.根据权利要求2所述的一种精准的膜片对位固定机构，其特征在于，所述膜片夹子上设有调节手轮和夹子升降调节板，通过所述调节手轮和所述夹子升降调节板来调节所述膜片夹子在Z轴方向上的高度。

4.根据权利要求3所述的一种精准的膜片对位固定机构，其特征在于，所述膜片定位机构包括膜片底座、硅胶头和底座垫块，所述硅胶头上布设有通气孔。

5.根据权利要求4所述的一种精准的膜片对位固定机构，其特征在于，所述膜片底座为透明亚克力材质，所述通气孔直径为0.5mm。