[实用新型]一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置

权利要求书

1.一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置，包括依次连接的辛胺储罐、第一混合罐、第二混合罐、调节阀、过滤装置和成品罐，所述第一混合罐上还连接有添加剂储罐，所述第二混合罐上还连接有氟化铵储罐、氟氢酸储罐和去离子水储罐，其特征在于，所述过滤装置包括一个过滤罐体、设置在过滤罐体内部的过滤件及设置在过滤罐体上的进料口、出料口和排污口，所述进料口位于过滤罐体的侧壁处，所述出料口位于过滤罐体的顶部，所述排污口位于过滤罐体底部，所述排污口设有相适配的塞子；所述过滤件为圆锥形滤网，且圆锥形滤网的大端口与过滤罐体内壁密封固定连接，所述过滤罐体出料口后管路上设有采出泵，所述过滤罐体出料口通过管路与采出泵连接后再与成品罐进口相连。

2.根据权利要求1所述的酸性氟化铵蚀刻液的制备装置，其特征在于，所述圆锥形滤网的大端口在上侧，小端口在下侧。

3.根据权利要求2所述的酸性氟化铵蚀刻液的制备装置，其特征在于，所述过滤罐体上还设有冲洗口，所述冲洗口位于过滤罐体的顶部。

4.根据权利要求3所述的酸性氟化铵蚀刻液的制备装置，其特征在于，所述的过滤装置包括多个并联连接的过滤罐体，所述每一个单独的过滤罐体进料口前的管路上均设置一个调节阀。

5.根据权利要求4所述的酸性氟化铵蚀刻液的制备装置，其特征在于，所述第一混合罐、第二混合罐内均设有搅拌器，所述搅拌器为转速调节式搅拌器。

6.根据权利要求1-5任一项所述的酸性氟化铵蚀刻液的制备装置，其特征在于，所述第一混合罐、第二混合罐和成品罐内壁均为聚四氟乙烯层。