[实用新型]一种钼管靶分层烧结装置

说明书

本实用新型公开了一种钼管靶分层烧结装置，所述烧结装置包括多层支撑平台，每层支撑平台包括井字形支架和托盘，所述托盘设置在井字形支架顶部，所述井字形支架由多块热轧钼板拼接而成，所述托盘由热轧钼板制成，所述托盘表面设置条形槽，所述托盘中心位置开设透气孔，所述井字形支架和托盘上均设置吊装孔。

技术领域

本实用新型涉及一种烧结装置，具体涉及一种钼管靶分层烧结装置。

背景技术

变光伏太阳能作为21世纪最理想的新能源，近年来发展十分迅猛，数据显示，全球对光伏太阳能电池的需求每年40%的速度增长，钼靶材作为配套耗材，需求量也呈现出激增。钼靶材以钼溅射薄膜方式被消耗，主要用作TFT栅极和太阳能电池组件的金属堆叠层。旋转钼靶材主要用于太阳能光伏行业，由于其利用率高，镀膜均匀性好，适用于大面积连续性磁控溅射生产线，管状旋转靶的理论利用率可达70%，大大高于平面靶20%-30%的利用率，大大降低了镀膜生产成本，是未来靶材的发展方向。

目前，钼管靶采用粉末冶金法，主要经过冷等静压、高温烧结、机加工等工序制成。常用管靶烧结前的粉制坯尺寸为Φ192×270mm，中频氢保护烧结炉内空间为Φ1200×2300mm。由于高温烧结过程中管靶会发生体积收缩，且压力较大时高温下会发生粘连现象，不能直接叠加放置于炉内，造成不能充分利用炉内空间。若分炉烧结，由于烧结工序需3-4天，耗时较长，则氢气、电等资源浪费严重，无形中增加了劳动强度，降低了作业效率，严重影响生产效率。

实用新型内容

为克服上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种钼管靶分层烧结装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种钼管靶分层烧结装置，所述烧结装置包括多层支撑平台，每层支撑平台包括井字形支架和托盘，所述托盘设置在井字形支架顶部，所述井字形支架由多块热轧钼板拼接而成，所述托盘由热轧钼板制成，所述托盘表面设置条形槽，所述托盘中心位置开设透气孔，所述井字形支架和托盘上均设置吊装孔。

优选地，所述井字形支架由热轧钼板一、热轧钼板二和热轧钼板三拼接而成，所述热轧钼板一横截面为L形，所述热轧钼板二横截面为直线形，所述热轧钼板三横截面为U形，所述热轧钼板一设置四块，沿烧结炉周向均布，所述热轧钼板二设置两块，每块热轧钼板二分别与其中两块热轧钼板一连接，所述热轧钼板三设置两块，每块热轧钼板三均与两块热轧钼板二连接，所述拼接方式为铆接和焊接。

优选地，所述井字形支架由四块热轧钼板四拼接而成，四块热轧钼板四上均设置两条卡槽，四块热轧钼板四相互卡合并通过焊接固定。

优选地，所述透气孔内径为30~50mm。

本实用新型的积极有益效果：

1. 本实用新型钼管靶分层烧结装置，不使用时可以通过吊装孔由吊装工具吊出烧结炉，不影响其它产品在烧结炉内烧结，使用方便，而且能够根据烧结炉内空间及钼管靶尺寸规格，灵活选择烧结炉内支撑平台层数，即钼管靶放置层数，大大提高了炉内空间利用率，节约资源，提高生产效率。

2. 本实用新型热轧钼板熔点高，耐高温，适合钼管靶的烧结使用，托盘上设置条形槽和透气孔，同时托盘边缘与烧结炉内壁也形成间隙，便于烧结炉内氢气流通，烧结均匀快速，所得钼管靶表面质量良好，可达到99%理论密度，且晶粒细小。

附图说明

图1为本实用新型实施例1钼管靶分层烧结装置的俯视结构示意图；

图2为本实用新型托盘结构示意图；

图3为本实用新型实施例2钼管靶分层烧结装置的俯视结构示意图；

图4为本实用新型实施例2热轧钼板四的结构示意图；