[实用新型]一种槽体装置

说明书

本实用新型提出了一种槽体装置，包括槽体，槽体内形成有第一腔体；隔板，设置于第一腔体内、并将第一腔体分隔为上子腔和下子腔，隔板上设置有连通上子腔和下子腔的多个扩散孔；管式进料分布器，设置在下子腔内，其一端伸出槽体并向下子腔内引入液体，管式进料分布器的外壁上设置有连通其内外的出液孔，用以使管式进料分布器内的液体均匀分布在下子腔内。通过设置隔板将第一腔体分隔为上、下子腔，并将隔板上设置扩散孔和管式进料分布器上设置出液孔，使得管式进料分布器中浓度较高的溶质在下子腔出液并充分扩散、混合，再扩散至作业区域，使下子腔和上子腔内溶液浓度更为均匀。

技术领域

本申请涉及但不局限于一种容器，更具体地，涉及一种槽体装置。

背景技术

硅片制绒是通过酸或碱对硅片表面进行处理，去除硅片表面的机械损伤，清除表面油污和金属杂质，得到虫孔状绒面或者金字塔状绒面的一种处理太阳能级硅片的工艺方法，是硅太阳能电池片生产的一道工序，可提高硅片的陷光作用。

在使用硅片腐蚀槽进行制绒操作时，需将硅片放入硅片腐蚀槽的腔体内，硅片腐蚀槽内则冲入酸液或者碱液等药液进行反应腐蚀。位于硅片腐蚀槽底部一侧的进液管道上设置有一个出液孔，由槽体一侧向另一侧喷液，在反应过程中，药液中的化学物质被消耗，浓度变低，需要收集起来进行补液或补药，然后再经进液管道输送到硅片腐蚀槽以循环使用。但使用这种硅片腐蚀槽进行处理后的硅片存在表面性能不一致的情况，对于其他相类似的槽体装置，利用槽体内的溶液对物料进行处理的场合，也存在类似的问题。

实用新型内容

本申请提供了一种槽体装置，包括：

槽体，所述槽体内形成有第一腔体；

隔板，设置于所述第一腔体内、并将所述第一腔体分隔为上子腔和下子腔，所述隔板上设置有连通所述上子腔和下子腔的多个扩散孔；

管式进料分布器，设置在所述下子腔内，其一端伸出所述槽体并向所述下子腔内引入液体，所述管式进料分布器的外壁上设置有连通其内外的出液孔，用以使所述管式进料分布器内的液体均匀分布在所述下子腔内。

本申请提供的槽体装置中，利用隔板将第一腔体分隔为上子腔和下子腔，可以使得经由管式进料分布器输送的浓度较高的溶质(如酸、碱等化学物质)在下子腔内得到充分扩散、混合，浓度分布较为均匀后，再经扩散孔进入上子腔(即作业区域)内，在上子腔内经过进一步充分扩散、混合后，进而使上子腔内溶液的浓度更为均匀，最终达到对上子腔内物料(如待腐蚀硅片)表面进行均匀腐蚀的目的，以提高物料表面性能(如硅片表面各处绒面反射率的一致性)，从而提升其使用性能。

本申请与现有技术相比，获得的有益效果包括：

1、通过设置隔板将第一腔体分隔为上、下子腔，使得管式进料分布器中浓度较高的溶质在出液区域得到充分扩散、混合，浓度较为均匀后，再扩散至作业区域，保证作业区域内溶液浓度更为均匀；

2、通过设置出液孔和扩散孔均为喇叭形孔，使流出溶液以发散的形式流出，有助于出口处溶液的充分扩散、混合，提升下子腔和上子腔内溶液浓度的均匀性；

3、通过在下子腔内设置管式进料分布器，其通过多个均匀布置的分液管道及分液管道上均匀分布的出液孔，向下子腔内均匀出液，以利于溶液均匀扩散；

4、通过在分液管道上沿长度方向和截面周向均匀设置多个出液孔，使管道沿长度方向和截面周向空间范围内出液更为均匀，提高整体范围内的溶液浓度均匀性；

5、通过设置多层出液孔，使第一腔体不同高度上同时出液，增大出液范围，提高溶液在三维空间范围内的浓度均匀性；

6、通过设置多个出液孔具有不同的出液方向，特别是相邻两排出液孔相对设置、出液方向相反时，可以减少溶液单向流动区域，更利于溶液扩散，实现浓度均匀。