[实用新型]一种太阳能电池晶体硅的高效打磨装置有效
申请号: | 201821074130.X | 申请日: | 2018-07-05 |
公开(公告)号: | CN208866943U | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
发明(设计)人: | 刘宏;王春定;龚志国;姚学森;刘柏林 | 申请(专利权)人: | 天长市百盛半导体科技有限公司 |
主分类号: | B24B27/00 | 分类号: | B24B27/00;B24B41/04;B24B41/06;B24B41/02;B24B41/00 |
代理公司: | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 | 代理人: | 傅磊 |
地址: | 239300 安徽省滁州市天长*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 活塞 活塞轴 安装板 打磨 本实用新型 第二限位板 第一限位板 太阳能电池 打磨装置 单晶硅片 上端 晶体硅 滑槽 切割 电机 安装座 打磨轮 滑道 下端 底座 | ||
本实用新型公开了一种太阳能电池晶体硅的高效打磨装置,底座上端安装有第一活塞和第一活塞轴,第一活塞轴上安装有第二活塞,第二活塞上安装有第一安装板,第一活塞的一侧安装有第二电机,第一安装板上端安装有第一电机,第一安装板上设有第一滑槽,第一滑槽内设有可滑道的第四活塞和第四活塞轴,第四活塞轴上安装有第五活塞和第五活塞轴,第五活塞轴上安装有第一限位板,第一限位板上安装有打磨轮,第二安装板的下端安装有第六活塞,第六活塞上安装有第六活塞轴,第六活塞轴上安装有第二限位板,第二限位板上通过打磨球安装座安装有打磨球。本实用新型能够有效提高单晶硅片的切割和打磨效率,同时也避免了在打磨切割的过程中损坏单晶硅片。
技术领域
本发明涉及单晶硅片加工设备的技术领域,尤其涉及一种太阳能电池晶体硅的高效打磨装置。
背景技术
近年来,中国单晶硅产量明显稳步增长,增长的原因是一方面来自国际上对低档和廉价硅材料需求的增加。另一方面是近年来中国装备制造发展迅速,各类信息家电和通信产品需求旺盛,因此半导体器件和硅材料的市场需求量都很大。单晶硅片用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。现有的单晶硅片打磨装置打磨效率低,打磨质量差,且打磨过程中很容易造成对单晶硅片损坏,无法满足实际生产过程的需求。
发明内容
为解决背景技术中存在的技术问题,本发明提出一种太阳能电池晶体硅的高效打磨装置,能够有效提高单晶硅片的打磨和切割效率,有效提高了单晶硅片的质量。
本发明提出的一种太阳能电池晶体硅的高效打磨装置,包括底座,所述底座上端安装有第一活塞,所述第一活塞远离底座的一侧安装有第一活塞轴,所述第一活塞轴远离第一活塞的一端安装有第二活塞,所述第二活塞远离第一活塞轴的一侧安装有第一安装板,所述第一活塞的一侧安装有第二电机,所述第一安装板上端安装有第一电机,所述第一安装板上设有第一滑槽,所述第一滑槽内设有可滑道的第四活塞,所述第四活塞远离第一滑槽的一侧安装有第四活塞轴,所述第四活塞轴远离第四活塞的一侧安装有第五活塞,所述第五活塞远离第四活塞轴的一侧安装有第五活塞轴,所述第五活塞轴远离第五活塞的一侧安装有第一限位板,所述第一限位板远离第五活塞轴的一侧安装有第二安装板,所述第二安装板上通过转轴安装有打磨轮,所述第二安装板的下端安装有第六活塞,所述第六活塞远离第二安装板的一侧安装有第六活塞轴,所述第六活塞轴远离第二安装板的一侧安装有第二限位板,所述第二限位板远离第六活塞轴的一侧通过打磨球安装座安装有打磨球。
进一步的,所述第一活塞和第二活塞之间且在第一活塞轴的外周套接有第一弹簧。
进一步的,所述第三活塞和限位机构之间且在第三活塞轴的外周套接有第二弹簧。
进一步的,所述第五活塞和第一限位板之间且在第五活塞轴的外周套接有第三弹簧。
进一步的,所述第六活塞和第二限位板之间且在第六活塞轴的外周套接有第四弹簧。
进一步的,所述限位机构包括第三安装板、第二滑槽、滑轮、第四安装板、第七活塞、第七活塞轴、限位板安装座、限位板和第四电机,所述第三安装板安装在第三活塞轴上,所述第二滑槽设于第三安装板内,所述滑轮设于第二滑槽内,所述第四安装板安装在滑轮上,所述第七活塞安装在第四安装板上,所述第七活塞轴安装在第七活塞远离第四安装板的一侧,所述限位板安装座安装在第七活塞轴远离第七活塞的一侧,所述限位板安装在限位板安装座上。
进一步的,所述第七活塞和限位板安装座之间且在第七活塞轴的外周套接有第五弹簧。
与现有技术相比,本发明的技术方案具有以下有益效果:
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