[实用新型]分子束外延系统使用的衬底托板有效
| 申请号： | 201821076288.0 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN208829793U | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 陈意桥;陈超;颜全;赵曼曼 | 申请（专利权）人： | 苏州焜原光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C23C16/458 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分子束外延系统 衬底托板 环形台 衬底 电子元器件 热均匀性 有效减少 衬底托 穿透的 热扩散 热应力 上表面 外边缘 台面 载片 轴向 | ||
【权利要求书】：
1.一种分子束外延系统使用的衬底托板，其特征在于：包括中间穿透的本体，所述本体的中心设有表面低于本体上表面的环形台以及低于环形台的台面，所述台面的外边缘高于其内边缘。
2.根据权利要求1所述的衬底托板，其特征在于：所述本体的外形呈环状。
3.根据权利要求1所述的衬底托板，其特征在于：所述台面为球面的一部分。
4.根据权利要求3所述的衬底托板，其特征在于：所述台面的径向宽度为1-6mm，所述球面的球径是台面外径的1.4-70倍。
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