[实用新型]一种用于洁净室内设备的清洁器

说明书

本实用新型涉及一种用于洁净室内设备的清洁器，包括吹吸头、真空泵组和设置于吹吸头和真空泵组之间的吹吸管组；所述真空泵组至少含有一个真空泵；其特征在于：所述吹吸头的中央设置有吹气流道；所述吹吸头上环绕吹气流道均匀设置有若干个吸气流道；所述吹吸管组包括与吹气流道连通的吹气管和与每一吸气流道均连通的吸气管；所述吹气管与任一真空泵的出气口相连通；所述吹气管上沿气体流动方向依次设置有加热器和吹气过滤器；所述吸气管与任一真空泵的进气口相连通。通过中心吹扫、四周抽吸的方式，再结合热风干燥升温，提高了对粉尘颗粒的剥离和清洁效果，并避免了扬尘四溢而造成的二次污染，消除了粉尘颗粒的粘黏和二次粘黏。

技术领域

本实用新型涉及清洁设备领域，具体涉及一种用于洁净室内设备的清洁器。

背景技术

随着半导体和面板的技术升级，线宽越来越窄，任何粉尘颗粒的存在会造成很多的不良，所以现阶段相关领域对粉尘颗粒的管控越来越重视，越来越严格。工艺设备内的一些器件和平台表面的粉尘颗粒均存在直接与产品接触的风险，会严重降低产品的品质。针对设备内粉尘颗粒的清洁，现况的方法是用无尘布擦拭，无尘布能去除一部分大的粉尘颗粒，而且清洁过程人员众多，人为也会带入一些粉尘颗粒，而且对一些小粒径(微米级别)的粉尘颗粒的去除效果不明显，关于对半导体和面板行业的工艺设备内部器件表面的清洁设备，现在市面没有相关的产品和专利，此发明能弥补其他除尘设备在半导体除尘的不足。

实用新型内容

本实用新型提供了一种用于洁净室内设备的清洁器，以解决在洁净室内，无尘布擦拭对设备的除尘效果不佳、现有除尘设备不适用于洁净室内设备清洁的问题。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种用于洁净室内设备的清洁器，包括吹吸头、真空泵组和设置于吹吸头和真空泵组之间的吹吸管组；所述真空泵组至少含有一个真空泵；所述吹吸头的中央设置有吹气流道；所述吹吸头上环绕吹气流道均匀设置有若干个吸气流道；所述吹吸管组包括与吹气流道连通的吹气管和与每一吸气流道均连通的吸气管；所述吹气管与任一真空泵的出气口相连通；所述吹气管上沿气体流动方向依次设置有加热器和吹气过滤器；所述吸气管与任一真空泵的进气口相连通。

本技术方案的工作原理和工作过程如下：

首先，需要明确的是，本技术方案中真空泵是一种利于叶轮旋转以使空气产生流动的现有设备；其设置有进气口和出气口，通过叶轮的旋转产生的真空负压，使得外部空气从进气口吸入真空泵内，并利用叶轮旋转所产生的离心力将吸入的空气从出气口中排出；通常真空泵的功率越大，其产生的吸力越大，排出空气的流速越高；因其吸气排气原理以及自身结构和控制方法均为现有技术，故在此不做赘述。其次，关于加热器，其作用在于加热流经加热器的空气，使得空气受热升温，其结构可以为但不限于盘绕的加热电阻丝，并通过接入直流电源使之通过电阻的内耗将电能转化为热能，此在现有技术中已经有大量运用，故在此不做赘述；当然，鉴于洁净室内被清洁电气设备的耐温能力以及对粉尘颗粒的加热去除效果，经过反复试验，加热器的功率大小以使被加热空气流的温度不超过50℃为宜，优选温度在40～50℃范围内。此外，关于吸气管如何与多个吸气流道连接，可以参考输水工程中水管的分流方法进行设置，其属于现有技术，且本申请附图中亦作出了相应的示例，故也不做赘述。最后，吹气管过滤器，其作用在于过滤吸附吹扫气中所携带的粉尘颗粒，其结构可以为多层无纺布构成，也可以为陶瓷过滤网格，亦或是高分子吸附膜，但并不限于上述举例结构；又由于粉尘颗粒的过滤装置、设备或器件均属现有技术，故同样不做赘述。

需要强调的是，本技术方案中，虽然没有对所述电气设备具体的电连接方式及其控制方法进行描述，但是根据上述分析可知，这些电气设备均属于现有设备，且在本技术方案中发挥其现有的功能，具体地讲，真空泵所用到的功能为抽排空气以形成空气流，加热器所用到的功能为对物质进行加热。而上述功能在现有技术中均有详细的记载，因此其具体实施方式可以具体参照现有技术进行，尤其当设计上述两个部件的电路连接以及电器控制时。