[实用新型]一种可自动对焦的变焦显微扫描系统

说明书

本实用新型公开了一种可自动对焦的变焦显微扫描系统，相机置于镜筒支架上方，镜筒支架上安装有低倍镜筒和高倍镜筒，第一电机连接镜筒支架、控制镜筒支架水平方向的移动，低倍镜筒或高倍镜筒能够在镜筒支架上转动，镜筒支架下方设有物镜支架，物镜支架上安装有物镜，第二电机连接物镜支架、控制物镜支架垂直方向的移动，物镜支架下方设有样品台，样品台下方设有底部光源，用来针对生物样品等透明样品的观测，样品台侧方设有侧向光源或同轴光源，用来针对半导体等非透明样品的观测。本实用新型的有益效果是能够快速切换镜筒并对焦物体达到变焦效果。

技术领域

本实用新型属于显微镜技术领域，涉及一种可通过切换不同倍率的镜筒进行放大倍数的改变，并可精准对焦的显微扫描结构。

背景技术

现有可变焦显微镜对焦方式一般使用样品台移动对焦方式进行，由于样品台高度控制一般使用齿轮或丝杆控制，其精度为100微米左右，对于较低景深(<10微米，如生物切片、半导体芯片、微纳器件等)应用场景无法实现精确对焦。控制样品台移动的电机由于样品台较重也难达到高速运转和实现对焦的功能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可自动对焦的变焦显微扫描系统，本实用新型的有益效果是能够快速切换镜筒并对焦物体达到变焦效果。

本实用新型所采用的技术方案是包括相机、相机置于镜筒支架上方，镜筒支架上安装有低倍镜筒和高倍镜筒，第一电机连接镜筒支架、控制镜筒支架水平方向的移动，低倍镜筒或高倍镜筒能够在镜筒支架上转动，镜筒支架下方设有物镜支架，物镜支架上安装有物镜，第二电机连接物镜支架、控制物镜支架垂直方向的移动，物镜支架下方设有样品台，样品台下方设有底部光源，用来针对生物样品等透明样品的观测，样品台侧方设有侧向光源或同轴光源，用来针对半导体等非透明样品的观测。

进一步，相机1为面阵相机或者线扫相机。

附图说明

图1是可自动对焦的变焦显微扫描系统结构示意图。

图中，1.相机，21.镜筒支架，22.低倍镜筒，23.高倍镜筒，31.物镜支架，32.物镜，41.第一电机，42.第二电机，5.样品台，61.底部光源，62.侧向光源或同轴光源。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

本实用新型如图1所示包括相机1、相机1置于镜筒支架21上方，镜筒支架21上安装有低倍镜筒22和高倍镜筒23，第一电机41连接镜筒支架21、控制镜筒支架21水平方向的移动，可将低倍镜筒22和高倍镜筒23分别切换到光轴方向。镜筒支架21下方设有物镜支架31，物镜支架31上安装有物镜32，第二电机42连接物镜支架31、控制物镜支架31垂直方向的移动，物镜支架31下方设有样品台5，样品台5下方设有底部光源61，用来针对生物样品等透明样品的观测。样品台5侧方设有侧向光源或同轴光源62，用来针对半导体等非透明样品的观测。

本实用新型的低倍镜筒22和高倍镜筒23可以切换，配合物镜32，可以稳定实现不同倍率的成像效果。通过第一电机41和第二电机42，可以控制水平方向和垂直方向的位置。工作时可以连续将物镜32运行到多个位置取图，通过对图像进行清晰度分析确定最佳工作位置并反馈给电机固定位置实现对焦。定位精度和速度均较现有设备有大幅提升。样品台可以在XY方向移动，可以实现对不同样品位置的扫描拍摄。底部光源61和侧向光源或同轴光源62根据观测样品或观测目的不同可以单独使用或配合使用。相机1可以为面阵相机或者线扫相机。

以上所述仅是对本实用新型的较佳实施方式而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。