[实用新型]可变叶片冷井装置

说明书

本实用新型提供了一种可变叶片冷井装置，包括：油扩散泵；冷井壳体，安装于所述油扩散泵上，所述冷井壳体具有一冷凝空腔，所述冷凝空腔贯通所述冷井壳体的两端，所述冷凝空腔的一端对准所述油扩散泵的吸气口；叶片组件，通过管轴组件可转动地安装于所述冷凝空腔内，所述管轴组件的第一端和第二端分别可转动地插设于所述冷井壳体的内侧壁中，所述冷井壳体的外侧壁上安装有驱动电机，所述驱动电机传动连接于所述管轴组件的第二端；以及监控设备，包括控制器和真空传感器，所述真空传感器电信号连接于所述控制器，所述控制器连接于所述驱动电机。本实用新型解决了使用传统冷井时导致油扩散真空泵的抽速下降幅度大的问题。

技术领域

本实用新型涉及一种油扩散真空泵，具体涉及一种可变叶片冷井装置。

背景技术

目前的真空炉所匹配的油扩散真空泵，在粗真空阶段(约10^-2pa至10pa 左右)抽速低且返油率较高，在10^-2pa较高真空阶段以下抽速提高到油扩散真空泵的名义抽速，此时返油率非常低。

如果不使用冷井，则油扩散真空泵在粗真空阶段会向真空炉的炉腔方向返油，实际会在真空炉的炉腔的靠近主阀处的内表面留下油膜，进而导致炉内正在处理的产品受到污染。

如果使用传统冷井，冷井的固定叶片会对油扩散真空泵的吸气口始终造成理论上至少50％的遮挡，导致油扩散真空泵的抽速下降至少45％。

实用新型内容

为克服现有技术所存在的缺陷，现提供一种可变叶片冷井装置，以解决使用传统冷井时导致油扩散真空泵的抽速下降幅度大的问题。

为实现上述目的，提供一种可变叶片冷井装置，包括：

油扩散泵；

冷井壳体，安装于所述油扩散泵上，所述冷井壳体具有一冷凝空腔，所述冷凝空腔贯通所述冷井壳体的两端，所述冷凝空腔的一端对准所述油扩散泵的吸气口；

叶片组件，通过管轴组件可转动地安装于所述冷凝空腔内，所述管轴组件的第一端和第二端分别可转动地插设于所述冷井壳体的内侧壁中，所述冷井壳体的外侧壁上安装有驱动电机，所述驱动电机传动连接于所述管轴组件的第二端；以及

监控设备，包括控制器和真空传感器，所述真空传感器电信号连接于所述控制器，所述控制器连接于所述驱动电机。

进一步的，所述管轴组件包括并排设置的驱动管轴和从动管轴，所述叶片组件包括通过驱动管轴可转动地安装于所述冷凝空腔内的驱动叶片和通过从动管轴可转动地安装于所述冷凝空腔内的从动叶片，所述驱动管轴、所述从动管轴的两端分别可转动地插设于所述冷井壳体的内侧壁中，所述驱动管轴的第二端传动连接于所述驱动电机，所述驱动管轴的第一端传动连接于所述从动管轴。

进一步的，所述驱动管轴和所述从动管轴沿所述冷井壳体的径向方向并排设置。

进一步的，所述冷井壳体的相对两侧的侧壁中分别形成进水腔和排水腔，所述驱动管轴、所述从动管轴的第一端伸至所述进水腔中，所述驱动管轴、所述从动管轴的第二端伸至所述排水腔中，所述驱动管轴、所述从动管轴的第一端分别形成有连通所述进水腔的进水孔，所述驱动管轴、所述从动管轴的第二端分别形成有连通所述排水腔的排水孔，所述冷井壳体的外侧壁上形成连通于所述进水腔的进水口以及连通于所述排水腔的出水口。

进一步的，所述驱动管轴的第一端同轴连接有驱动齿轮，所述从动管轴的第一端同轴连接有从动齿轮，所述驱动齿轮与所述从动齿轮之间啮合有传动齿轮。

进一步的，所述驱动电机的输出端伸至所述排水腔中并同轴连接于所述驱动管轴的第二端。