[实用新型]一种反喇叭形离子溅射系统阴极靶保护外套

说明书

本实用新型公开了一种反喇叭形离子溅射系统阴极靶保护外套，其特征在于，所述反喇叭形保护套由主体和底端两部分组成且两部分厚度相同；所述保护套主体部分展开为一定厚度的扇环形薄片，底端部分为一定厚度的圆形薄片；所述底端部分圆形薄片周长和主体部分展开的扇环薄片下底边长相同；所述主体部分展开的扇环上底边长可依据被保护靶材靶位周长来确定，以保证保护套恰好套在被保护靶的靶位上而不脱落；所述反喇叭形保护外套通过焊接将主体部分下底与底端圆形薄片周长一圈焊接在一起，扇环形两腰焊接在一起；所述保护套可用常见的金属或合金材料根据实际需求制造。

技术领域

本实用新型涉及离子溅射系统，尤其涉及一种反喇叭形离子溅射系统阴极靶保护外套。

背景技术

随着社会的发展，工业的不断进步，人们对机械工业产品表面各种性能的要求也随之提高。材料的表面是保护材料的第一道防线，表面工程从材料表面出发进行防护，这对于产品的保护具有明显的效果。表面工程是表面经过预处理后，通过表面涂覆、表面改性或多种表面技术复合处理，改变固体金属表面或非金属表面的形态、化学成分、组织结构和应力状况，以获得表面所需性能的系统工程。因此，通过表面工程技术的研究和开发，采用合适的方法对机械产品表面进行保护和强化对于提高工件的使用寿命和可靠性，对于改善设备的性能和质量，增强设备的竞争力以及推动高新技术的发展，节约材料、节约能源等都有重要的意义。现代表面处理中将多种处理技术复合在一起对材料进行表面处理，一方面可以弥补单一技术的缺点，另一方面节约资金，更重要的是复合技术实现了单一技术不能实现的功能。

离子溅射系统是表面工程技术常用的仪器设备，离子溅射系统一般由真空腔室、溅射系统、抽气系统、进气系统、冷却系统及控制系统等几部分组成。一般情况下离子溅射系统中的单个真空腔室普遍拥有多个不同功能区及不同靶位靶材。为了防止不同功能区及不同靶位靶材在工作时相互之间的污染，现阶段普遍采用平面式挡板进行防护隔离，但是这种措施并不能有效的防止靶材之间的互相污染。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种制造和使用成本低且能满足保护性能的一种反喇叭形离子溅射系统阴极靶保护外套。

为了实现上述目的，本实用新型一种反喇叭形离子溅射系统阴极靶保护外套，其特征在于，所述反喇叭形保护套由主体和底端两部分组成且两部分厚度相同，可根据实际实验设备自行加工成合适厚度；所述保护套主体部分展开为一定厚度的扇环形薄片，底端部分为一定厚度的圆形薄片；所述底端部分圆形薄片周长和主体部分展开的扇环薄片下底边长相同，可依据实际需要自行加工成合适尺寸；所述主体部分展开的扇环上底边长可依据被保护靶材靶位周长来确定，以保证保护套恰好套在被保护靶的靶位上而不脱落；所述反喇叭形保护外套通过焊接将主体部分下底与底端圆形薄片周长一圈焊接在一起，扇环形两腰焊接在一起；所述保护套可用常见的不锈钢板或合金材料根据实际需求制造。

附图说明

图1为本实用新型一种反喇叭形离子溅射系统阴极靶保护外套主观示意图。

图2为本实用新型一种反喇叭形离子溅射系统阴极靶保护外套展开示意图。

附图标记：1主体部分、2底端部分、3下底、4上底、5腰。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步说明：