[实用新型]玻璃基板气浮装置

权利要求书

1.一种玻璃基板气浮装置，其特征在于，该装置包括基座(1)，设置于所述基座(1)上方的气浮条(2)，用于调节气浮条(2)相对于基座(1)高度的升降机构(3)，以及用于设置所述升降机构(3)所需高度的控制机构。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气浮条(2)为平行设置的多个，所述多个气浮条(2)均匀地间隔设置于所述基座(1)上方，每个所述气浮条(2)设置有一个所述升降机构(3)。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述升降机构(3)由伺服电机控制，并且包括用于检测当前高度的检测机构，所述检测机构与所述控制机构电连接，以在所述多个升降机构(3)的高度不一致时，控制相应的伺服电机以使得所述升降机构(3)的高度一致。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述检测机构为位移传感器。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述升降机构(3)为丝杆升降机，所述丝杆升降机包括相对于所述基座(1)上下移动的丝杆，所述丝杆通过连接件与所述气浮条(2)连接。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气浮条(2)为多孔结构。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该装置还包括鼓风机(5)，以及连接在所述鼓风机(5)的出风口(6)和所述气浮条(2)之间的过滤器(7)。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述过滤器(7)包括箱体(71)和设置在所述箱体(71)内的滤芯(72)，所述箱体(71)的一端形成有进气口(73)，另一端形成有出气口(74)，所述进气口(73)和所述滤芯(72)之间具有朝向所述滤芯(72)渐扩的降速腔(75)，所述滤芯(72)和所述出气口(74)之间具有朝向所述出气口(74)渐缩的增速腔(76)。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述过滤器(7)还包括设置在所述箱体(71)内的第一上导流板(81)、第一下导流板(82)，所述第一上导流板(81)和第一下导流板(82)相对设置，所述第一上导流板(81)的一端与所述进气口(73)的上边缘相连，另一端与所述滤芯(72)的上端相连，所述第一下导流板(82)的一端与所述进气口(73)的下边缘相连，另一端与所述滤芯(72)的下端相连，所述降速腔(75)由所述第一上导流板(81)和第一下导流板(82)限定而成。

10.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述过滤器(7)还包括设置在所述箱体(71)内的第二上导流板(83)、第二下导流板(84)，所述第二上导流板(83)和第二下导流板(84)相对设置，所述第二上导流板(83)的一端与所述出气口(74)的上边缘相连，另一端与所述滤芯(72)的上端相连，所述第二下导流板(84)的一端与所述出气口(74)的下边缘相连，另一端与所述滤芯(72)的下端相连，所述增速腔(76)由所述第二上导流板(83)和第二下导流板(84)限定而成。