[实用新型]一种适用多尺寸晶圆的载物台

权利要求书

1.一种适用多尺寸晶圆的载物台，所述晶圆设在塑料膜上，所述塑料膜四周贴有铁环，其特征在于：所述载物台包括用于吸附晶圆的吸盘和用于吸附铁环的吸附组件，所述吸盘上设有多尺寸刻槽，所述吸附组件安装在吸盘的侧边上。

2.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：所述吸附组件包括第一吸嘴、第二吸嘴和固定座，所述第一吸嘴和第二吸嘴均设置在固定座上，所述第一吸嘴距离吸盘的距离小于所述第二吸嘴距离吸盘的距离。

3.根据权利要求2所述的载物台，其特征在于：所述吸附组件还包括第一支撑座、第一调节杆、第二支撑座和第二调节杆，所述第一支撑座上设有与第一调节杆的底端相配合的第一孔口，所述第二支撑座上设有与第二调节杆的底端相配合的第二孔口；所述第一支撑座安装在固定座上，所述第一调节杆通过第一孔口安装在第一支撑座上，所述第一吸嘴安装在第一调节杆上；所述第二支撑座安装在固定座上，所述第二调节杆通过第二孔口安装在第二支撑座上，所述第二吸嘴安装在第二调节杆上。

4.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：所述吸盘上设有四个吸附组件。

5.根据权利要求1至4任一所述的载物台，其特征在于：所述载物台还包括套圈，所述吸盘套设在套圈中。

6.根据权利要求5所述的载物台，其特征在于：所述载物台还包括光源和内部设有空腔的安装座，所述光源设置在空腔中，所述套圈设置在安装座上方，所述吸附组件设置在安装座的侧面。

7.根据权利要求6所述的载物台，其特征在于：所述载物台还包括平面度调节组件，所述平面度调节组件包括高度调节螺丝和锁紧螺丝，所述套圈上设有与高度调节螺丝相配合的第一通孔，还设有与锁紧螺丝相配合的第二通孔，所述安装座上设有与锁紧螺丝相配合的第三通孔，所述第二通孔和第三通孔连通；所述高度调节螺丝穿过第一通孔并抵触安装座，所述锁紧螺丝穿过第二通孔和第三通孔固定。

8.根据权利要求7所述的载物台，其特征在于：所述平面度调节组件设有四个。

9.根据权利要求6所述的载物台，其特征在于：所述载物台还包括旋转马达，所述安装座设置在旋转马达上。

10.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：所述刻槽表面设有磨砂层。