[实用新型]一种用于腐蚀硅片电感测厚仪的防腐蚀装置

权利要求书

1.一种用于腐蚀硅片电感测厚仪的防腐蚀装置，该装置包括底座(1)、支架(2)、测量机构及防腐机构，所述支架(2)固定设置在所述底座(1)的上表面，其特征在于：测量机构包括主机(3)、防腐组件及与所述主机(3)相连的金属探针(4)，所述主机(3)安装在所述支架(2)上，所述防腐组件包括保护套(5)及设置在所述保护套(5)下方且与所述保护套(5)一体设置的感应探头(6)，所述保护套(5)内设置有用于安装所述金属探针(4)的安装孔(501)，所述安装孔(501)贯穿所述保护套(5)的两端，所述保护套(5)通过安装孔(501)安装在所述金属探针(4)下端的外周面上，所述感应探头(6)为圆锥型，所述感应探头(6)沿其中心轴线方向设置有感应通孔(601)，所述感应通孔(601)贯穿所述感应探头(6)的两端，所述感应通孔(601)与所述安装孔(501)相连通；

所述底座(1)的上表面上设置有气缸(7)及测试盘(8)，所述气缸(7)的输出端与所述测试盘(8)的底端相连，所述测试盘(8)的上表面上设置有用于放置硅片的凸台(10)和若干个环绕所述凸台(10)的支撑柱(9)，所述凸台(10)的上表面上设有若干个贯穿凸台(10)的通气孔(101)。

2.根据权利要求1所述的一种用于腐蚀硅片电感测厚仪的防腐蚀装置，其特征在于：所述保护套(5)由聚四氟乙烯材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种用于腐蚀硅片电感测厚仪的防腐蚀装置，其特征在于：所述感应探头(6)由聚四氟乙烯材料制成。

4.根据权利要求1所述的一种用于腐蚀硅片电感测厚仪的防腐蚀装置，其特征在于：所述支撑柱(9)由聚四氟乙烯材料制成。

5.根据权利要求1所述的一种用于腐蚀硅片电感测厚仪的防腐蚀装置，其特征在于：所述支撑柱(9)的个数为3个。

6.根据权利要求1所述的一种用于腐蚀硅片电感测厚仪的防腐蚀装置，其特征在于：所述感应通孔(601)的直径小于所述安装孔(501)的直径。