[实用新型]一种防尘密封气动旋转引弧装置

说明书

本实用新型提供一种防尘密封气动旋转引弧装置，包括引弧机构、真空室、旋转密封机构以及驱动机构；旋转密封机构设置于真空室的上方，旋转密封机构包括绝缘组件、密封润滑组件及防尘组件；驱动机构包括旋转驱动组件及设置于旋转驱动组件驱动端上的旋转固定组件，旋转固定组件的另一端与引弧机构固定连接；密封润滑组件包括套设于旋转固定组件上的轴套，轴套上沿周向的一侧上开设有润滑注射孔，润滑注射孔上可拆卸安装有密封螺钉；通过在引弧杆的周向设置旋转密封机构，密封润滑组件实现引弧过程中的密封润滑，防尘组件实现引弧过程中的防尘，解决了现有技术中引弧杆旋转部防尘效果差、磨损大，装置的使用寿命低的技术问题。

技术领域

本实用新型属于等离子体表面气相沉积技术领域，尤其涉及一种防尘密封气动旋转引弧装置。

背景技术

真空阴极电弧沉积是当前离子镀工模具用和装饰用硬质保护薄膜的主流技术之一；具体的镀膜过程如下：真空阴极电弧蒸发源安装在真空镀膜室侧壁上，蒸发源前端穿入真空镀室内，其上的镀料靶块面朝着真空镀室内的待镀工件，由引弧装置在靶块表面引燃成簇的真空电弧微弧斑，弧斑区的高温和场致效应作用让靶材蒸发生成金属蒸气，并电离成等离子体向空间发射，在工件表面沉积成薄膜。

中国专利CN96218605.8描述了旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机，包括镀膜室、工件转架、旋转磁控柱状弧源、进气系统、弧源电源、烘烤加热源、引弧针系统、真空系统、工件偏压电源组成。柱弧源由管状金属材料作靶材、管内安装数根条形永磁体，永磁体在靶管内作旋转运动。弧斑呈线状沿柱弧靶全长分布，并沿柱弧靶面扫描。旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机有立式结构、卧式结构、箱式结构。设备结构简单操作简便。适于镀氮化钛涂层。应用于超硬涂层刀具和钛金精饰品等领域。

上述机构存在诸多不足，如在进行旋转引弧时，引弧杆旋转部防尘效果差、磨损大，装置的使用寿命低。

实用新型内容

本实用新型的针对现有技术的不足提供一种防尘密封气动旋转引弧装置，通过在引弧杆的周向设置旋转密封机构，密封润滑组件实现引弧过程中的密封润滑，防尘组件实现引弧过程中的防尘，解决了现有技术中引弧杆旋转部防尘效果差、磨损大，装置的使用寿命低的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种防尘密封气动旋转引弧装置，包括引弧机构以及真空室，还包括：

旋转密封机构，所述旋转密封机构设置于所述真空室的上方，该旋转密封机构包括绝缘组件、密封润滑组件及设置于所述密封润滑组件下方的防尘组件；以及

驱动机构，所述驱动机构包括旋转驱动组件及设置于所述旋转驱动组件驱动端上的旋转固定组件，所述旋转固定组件的另一端与所述引弧机构固定连接；

所述密封润滑组件包括套设于所述旋转固定组件上的轴套，所述轴套上沿周向的一侧上开设有润滑注射孔，该润滑注射孔上可拆卸安装有密封螺钉。

作为改进，所述引弧机构包括：

引弧杆，所述引弧杆自上而下贯穿转动设置于所述旋转密封机构及真空室的安装孔内，该引弧杆一端与所述旋转驱动组件驱动端固定连接；

引弧针，所述引弧针一端与所述引弧杆一端固定连接且呈角度设置；

压盖，所述压盖固定设置于所述引弧杆与引弧针连接端上。

作为改进，所述引弧针与所述引弧杆所呈角度为90°。

作为改进，所述绝缘组件包括：

绝缘板，所述绝缘板固定设置于所述真空室的正上方，且该绝缘板与所述安装孔同轴设置；

O型圈，所述O型圈数量为两组且分别设置于所述绝缘板的上下两面上，且上端的O型圈分别与所述轴套和绝缘板密封接触设置，下端的O型圈分别与所述绝缘板和真空室的上端面密封接触设置；