[实用新型]一种增加产能的电镀机有效
申请号: | 201821112376.1 | 申请日: | 2018-07-13 |
公开(公告)号: | CN208023097U | 公开(公告)日: | 2018-10-30 |
发明(设计)人: | 陈伟健 | 申请(专利权)人: | 福建省福联集成电路有限公司 |
主分类号: | C25D17/02 | 分类号: | C25D17/02;C25D7/12;C25D21/00 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 林祥翔;徐剑兵 |
地址: | 351117 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电镀机 电镀槽 压缩气体管路 密封推杆 产能 本实用新型 产品放置 产品需求 高压气体 气体通过 放置腔 电镀 滑动 变小 弹簧 生产成本 | ||
1.一种增加产能的电镀机,其特征在于:包括电镀机本体和调整端子,所述调整端子设置有多个,电镀机本体设置有电镀槽,多个调整端子圆周阵列设置在电镀槽的内侧壁上,电镀机本体用于通过电镀槽进行电镀作业;
所述调整端子包括密封推杆、弹簧、放置腔体和压缩气体管路,密封推杆的一端贯穿放置腔体的底板设置,弹簧设置在放置腔体的内底面与密封推杆密封端之间,压缩气体管路的一端与放置壳体的内腔端口管连接,压缩气体管路用于向放置腔体内提供压缩气体。
2.根据权利要求1所述的一种增加产能的电镀机,其特征在于:所述调整端子还包括电磁阀,电磁阀设置在压缩气体管道上。
3.根据权利要求1所述的一种增加产能的电镀机,其特征在于:所述密封推杆包括固定端头、密封端头和滑杆,滑杆一端贯穿放置腔体的底板设置在固定端头上,滑杆的另一端设置在密封端头上,密封端头位于放置腔体的内腔上,弹簧套设置在滑杆上,且弹簧位于放置腔体的内腔底面与密封端头之间,密封端头用于与放置腔体的内腔侧面密封。
4.根据权利要求1所述的一种增加产能的电镀机,其特征在于:还包括密封腔室,电镀机本体的电镀槽设置在密封腔室内。
5.根据权利要求1所述的一种增加产能的电镀机,其特征在于:所述电镀机本体包括电镀槽盖和驱动单元,电镀槽盖设置在密封腔室的顶板上,驱动单元设置在密封腔室的顶面固定板上,且驱动单元的输出轴设置在电镀槽盖的顶面上,电镀槽盖用于对电镀槽的槽口进行密封处理。
6.根据权利要求1所述的一种增加产能的电镀机,其特征在于:所述电镀机本体包括阴极板、阳极网、放置板和电镀液输送管道,所述阳极网设置在电镀槽的槽底部上,阴极板设置在电镀槽的槽顶部上,放置板设置在电镀槽的槽口顶部上,放置板位于阴极板的上方,电镀液输送管道的一端贯穿电镀槽的底板设置在电镀槽内,电镀液输送管道的另一端贯穿密封腔室的底板设置。
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