[实用新型]一种可提高靶材利用率的平面靶有效
申请号: | 201821119039.5 | 申请日: | 2018-07-16 |
公开(公告)号: | CN208501089U | 公开(公告)日: | 2019-02-15 |
发明(设计)人: | 郭喜明;张浩;王英智;王开亮 | 申请(专利权)人: | 沈阳乐贝真空技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人: | 王荣亮 |
地址: | 110135 辽宁省沈阳市*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 靶材 溅射靶材 靶材利用率 磁控靶 永磁体 上端 下端 分体组装式 偏心卡槽 平面靶 掺金 分体组装式结构 镀膜技术 固定压框 固定框 开口侧 偏心式 镀膜 加工 | ||
一种可提高靶材利用率的平面靶,解决现有掺金镀膜技术存在的靶材利用率低,加工成本高,原材料浪费严重的问题。包括磁控靶体,其特征在于:磁控靶体上设置的偏心卡槽内设置有永磁体;磁控靶体偏心卡槽的开口侧、永磁体的前方,设置有分体组装式的溅射靶材;溅射靶材由中部靶材构成,中部靶材的上端设置有上端靶材,中部靶材的下端设置有下端靶材,上端靶材和下端靶材通过靶材固定框与中部靶材连为一体;分体组装式溅射靶材的前侧设置有固定压框。其设计合理,结构紧凑,利用偏心式布置的永磁体和分体组装式结构的溅射靶材,有效提高了溅射靶材的利用率,显著降低掺金镀膜的成本。
技术领域
本实用新型属于真空镀膜技术领域,具体涉及一种结构简单紧凑,靶材利用率高,能够有效降低镀膜成本的可提高靶材利用率的平面靶。
背景技术
随着生活水平的提高,人们需要生活过得更加丰富多彩;用来美化人们生活的装饰品很多,例如:手表壳、表带、眼镜架、服饰、首饰等,这些装饰品被精饰的五彩缤纷,深受人们喜爱。现有装饰品的颜色以黄金色、玫瑰金色为主。以往的装饰品表面是利用真空镀膜方法镀一层仿金颜色的氮化钛,而为了进一步提高装饰品的精饰效果,需要在氮化钛表面镀一层真黄金或玫瑰金,以使色彩更加艳丽,增加耐摩擦、耐腐蚀性能,延长膜层的使用寿命,并能够长时间保持首饰表面的靓丽光泽、且无需清洗。
装饰品的掺金镀膜一般采用磁控溅射的方式,并且,需要使用纯金靶材,为了易于靶材的制备,纯金靶材通常制作成平面靶的结构形式。但是,纯金平面靶的靶材利用率都不高,一般在25%左右;由于黄金等贵金属的价格昂贵,所以较低的靶材利用率导致了掺金镀膜加工成本的高居不下,且造成严重的原材料浪费。故有必要对现有掺金镀膜的平面靶进行改进。
实用新型内容
本实用新型就是针对上述问题,提供一种结构简单紧凑,靶材利用率高,能够有效降低镀膜成本的可提高靶材利用率的平面靶。
本实用新型所采用的技术方案是:该可提高靶材利用率的平面靶包括磁控靶体,其特征在于:所述磁控靶体上设置有偏心卡槽,偏心卡槽内设置有用于产生束缚磁场的永磁体;磁控靶体偏心卡槽的开口侧、永磁体的前方设置有溅射靶材;所述溅射靶材为分体组装式结构,溅射靶材由中部靶材构成,中部靶材的上端设置有上端靶材,中部靶材的下端设置有下端靶材,且上端靶材和下端靶材通过靶材固定框与中部靶材拼接成一体;分体组装式溅射靶材的前侧设置有固定压框。
所述分体组装式溅射靶材与磁控靶体之间设置有间冷隔板。以在利于溅射靶材散热的同时,提升较柔软的纯金溅射靶材的平整度和结构强度。
所述间冷隔板与磁控靶体之间设置有密封圈。以对磁控靶体冷却系统内的循环冷却水进行密封,确保使用可靠性。
所述间冷隔板为铜制隔板。以提升间冷隔板的散热能力。
本实用新型的有益效果:由于本实用新型采用设置有偏心卡槽的磁控靶体,磁控靶体的偏心卡槽内设置有永磁体;磁控靶体偏心卡槽的开口侧、永磁体的前方,设置有分体组装式的溅射靶材;溅射靶材由中部靶材构成,中部靶材的上端设置有上端靶材,中部靶材的下端设置有下端靶材,上端靶材和下端靶材通过靶材固定框与中部靶材连为一体;分体组装式溅射靶材的前侧设置有固定压框的结构形式,所以其设计合理,结构简单紧凑,利用偏心式布置的永磁体和分体组装式结构的溅射靶材,使得在镀膜一段时间后,靶材上的环形溅射凹槽最薄处达到靶材厚度、无法再镀膜时,把分体组装式溅射靶材拆下、分体后,将中部靶材的两端调转180度,并同时更换上端靶材和下端靶材,组装后重新安装到磁控靶体上,继续使用。进而使纯金溅射靶材的利用率提高90%以上,并将整块溅射靶材的利用率提升到50%左右,显著降低掺金镀膜的成本。
附图说明
图1是本实用新型的一种结构示意图。
图2是图1的A向视图。
图3是将图2中溅射靶材的中部靶材两端调转180度、更换上端靶材和下端靶材后的使用状态示意图。
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