[实用新型]一种微型发光二极管转移系统有效
申请号: | 201821123736.8 | 申请日: | 2018-07-16 |
公开(公告)号: | CN208352324U | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 武良文 | 申请(专利权)人: | 江西兆驰半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 330000 江西省南昌市南昌高新技*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微型发光二极管 转移基板 运动控制部件 抓取 本实用新型 抓取部件 转移系统 运动控制系统 承载基板 光学定位 回收部件 静电控制 量测系统 转移效率 计算机系统 良率 载盘 载台 测试 | ||
本实用新型公开了一种微型发光二极管转移系统,包括计算机系统、静电控制系统、量测系统、运动控制系统、运动控制部件Ⅰ、运动控制部件Ⅱ、光学定位部件、抓取部件、转移基板、转移头阵列、载盘、回收部件、载台、微型发光二极管、承载基板;其中:抓取部件与转移基板连接,用于抓取转移基板,并将所述转移基板作为转移头,所述转移基板用于抓取微型发光二极管。本实用新型的优点在于:利用转移基板作为转移头进行微型发光二极管的转移,较现有技术减少一个转移步骤,可以有效提高转移效率,同时在转移过程中可以实现对微型发光二极管进行测试,以排除不合格的微型发光二极管,从而可以实现快速、高良率的微型发光二极管的转移。
技术领域
本实用新型涉及发光二极管技术领域,尤其涉及一种微型发光二极管转移系统。
背景技术
微型发光二极管(Micro LED)是指尺寸缩小到微米级的发光二极管芯片。由于微型发光二极管具有高亮度、低功耗、反应速度快,超高分辨率与色彩饱和度等优点,将微型发光二极管应用于显示领域已成为目前的研究热门和未来的重要发展方向。
微型发光二极管应用于显示领域需要将生长在衬底上的微型发光二极管转移到驱动背板上,该过程中的一个核心技术就是微型发光二极管的转移技术。现有技术中,一般采用静电吸附方式的技术进行转移,静电转移技术需要使用转移头阵列,通过对转移头施加电压使其带上静电来对微型发光二极管进行抓取,去掉转移头上的电压来将微型发光二极管释放在接收衬底上。微型发光二极管显示技术对于微型发光二极管的转移速率和良率要求比较高,一般需要接近100%的良率。然而静电吸附方式的转移技术在转移速率和良率上有限,制约了微型发光二极管在显示领域上的发展和应用。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种微型发光二极管转移系统,解决了现有技术中微型发光二极管的转移速率和良率偏低的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种微型发光二极管转移系统,包括计算机系统、静电控制系统、量测系统、运动控制系统、运动控制部件Ⅰ、运动控制部件Ⅱ、光学定位部件、抓取部件、转移基板、转移头阵列、载盘、回收部件、载台、微型发光二极管、承载基板;其中:抓取部件与转移基板连接,用于抓取转移基板,并将所述转移基板作为转移头,所述转移基板用于抓取微型发光二极管,量测系统通过抓取部件与转移基板上的集成电路连接,所述量测系统对抓取到转移基板上的微型发光二极管进行测试,所述量测系统与计算机系统连接,静电控制系统上具有微型开关阵列,静电控制系统与计算机系统连接,静电控制系统通过抓取部件与转移基板上的集成电路连接,运动控制系统与运动控制部件Ⅰ连接,运动控制部件Ⅰ与运动控制部件Ⅱ连接,运动控制系统通过运动控制部件Ⅰ和运动控制部件Ⅱ来控制抓取部件移动,运动控制系统与计算机系统连接,运动控制部件Ⅱ与抓取部件连接,抓取部件上设有光学定位部件,光学定位部件具有识别对位功能用于检测抓取部件的运动轨迹,并将检测的结果反馈给计算机系统,转移基板下方放置有载盘,载盘上放置有承载基板,载盘放置于载台上。
一种微型发光二极管转移系统,其中:所述载台上放置有回收部件。
一种微型发光二极管转移系统,其中:所述转移基板可以采用TFT驱动背板或硅基CMOS驱动背板。
一种微型发光二极管转移系统,其中:所述承载基板选择的材质可为玻璃、硅、聚碳酸酯或其任意组合。
一种微型发光二极管转移系统,其中:所述转移基板靠近微型发光二极管进行抓取时,两者的距离控制在2~10μm。
(三)有益效果
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