[实用新型]电浆制程设备内装置元件保护膜及其安装治具有效
| 申请号： | 201821125161.3 | 申请日： | 2018-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN208814939U | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 翁楠凯 | 申请（专利权）人： | 聚贤研发股份有限公司 |
| 主分类号： | C09J7/29 | 分类号： | C09J7/29;H01L31/18;H01J37/02;C23C16/50 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨;李林 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电浆制程设备 保护膜 元件保护膜 安装治具 装置元件 内装置 电浆 保护装置元件 本实用新型 高温耐受 金属离子 粘胶层 裁切 受电 制程 粘贴 室内 | ||
1.一种电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征是包含有：
一保护膜，以具有电浆、高温耐受能力且不带有金属离子的材质所制成，并依据电浆制程设备的腔室内所欲保护装置元件的形状裁切而成，该保护膜的一面涂布有一粘胶层；
一离型膜，该离型膜具有对应该保护膜的形状，并贴合于该保护膜的粘胶层。
2.如权利要求1所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该保护膜为由一层聚对苯二甲酸乙二醇酯膜贴合于一层聚酰亚胺膜的一面，而该聚酰亚胺膜的另一面则涂上该粘胶层。
3.如权利要求2所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该聚对苯二甲酸乙二醇酯膜的厚度介于0.1mm～0.2mm之间。
4.如权利要求2所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该聚酰亚胺膜的厚度介于0.04mm～0.08mm之间。
5.如权利要求1所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该电浆制程设备的腔室内的装置元件为一圆型平台，且该圆型平台周围设有一肩部。
6.如权利要求5所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该保护膜为长条状并由一第一保护膜邻接一第二保护膜，且该第一保护膜宽度大于第二保护膜宽度，进而形成L型截断面，以供覆盖于该圆型平台的肩部。
7.如权利要求6所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该第一保护膜、第二保护膜为一体成型并在第一保护膜、第二保护膜之间设有折痕；或者将第一保护膜、第二保护膜分别独立制造。
8.如权利要求6所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该保护膜具有二条，且分别装设并覆盖于该圆型平台的肩部的二侧。
9.一种安装治具，使用于前述权利要求5～7中任一项所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该安装治具设为块状体，其前端设为一唇缘部，而其后端则设为柄部。
10.如权利要求9所述安装治具，其特征在于：该唇缘部对应该圆型平台的肩部形状而设为内凹弧形状，且该唇缘部的横断面则设为L形状。
11.如权利要求9所述安装治具，其特征在于：该安装治具为压克力材质。
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