[实用新型]便携式超高真空样品转移装置

权利要求书

1.一种便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：包括进样腔体（2）以及与所述进样腔体（2）固定连接、用于维持真空的真空泵（1），所述进样腔体（2）的内腔借助所述真空泵组的运作保持超高真空环境，所述进样腔体（2）上还固定连接有用于进行样品传递的磁力杆（3），所述进样腔体（2）内腔中的实验样品在所述磁力杆（3）的作用下完成移动。

2.根据权利要求1所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述进样腔体（2）为一个五通腔体，所述进样腔体（2）上开设有用于与装置内其他部件相连接的连接端口，所述连接端口的顶部外侧还固定设置有用于实现所述进样腔体（2）与装置内其他部件间密封连接的密封法兰，所述连接端口的尺寸、规格均与所述密封法兰的尺寸、规格相匹配，所述连接端口的尺寸、规格均与所述进样腔体（2）内腔的尺寸、规格相匹配。

3.根据权利要求2所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述连接端口包括进样端口（11）、真空端口（12）、观察端口（9）、抽气端口（13）以及传递端口（10），所述真空端口（12）与所述观察端口（9）相对设置且二者共轴，所述抽气端口（13）与所述传递端口（10）相对设置且二者共轴。

4.根据权利要求3所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述进样端口（11）外侧设置有可开闭的进样阀门（6），所述密封法兰固定设置于所述进样端口（11）与所述进样阀门（6）之间。

5.根据权利要求3所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述真空泵（1）借助所述真空端口（12）与所述进样腔体（2）固定连接， 所述真空泵（1）为集成了离子泵及吸气泵的组合泵，所述真空泵（1）还与泵机控制组件电性连接，所述泵机控制组件为手提式电源。

6.根据权利要求3所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述观察端口（9）开设于所述进样腔体（2）的正上方位置，所述观察端口（9）外侧固定设置有透明观察窗（4），所述密封法兰固定设置于所述观察端口（9）与所述透明观察窗（4）之间。

7.根据权利要求3所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述抽气端口（13）的外侧固定设置有用于使装置外接抽真空设备或表征设备的插板阀（5），所述插板阀（5）的外侧顶端固定连接有抽气法兰组（8），所述插板阀（5）设置于所述抽气端口（13）与所述抽气法兰组（8）之间。

8.根据权利要求7所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述抽气法兰组（8）包括抽气密封法兰及隔断阀门，所述抽气密封法兰固定设置于所述插板阀（5）与所述隔断阀门之间，所述抽气密封法兰与所述插板阀（5）之间存在一个压力平衡空间，所述压力平衡空间借助所述隔断阀门与外界环境相连通。

9.根据权利要求3所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：进样腔体（2）借助所述传递端口（10）与所述磁力杆（3）固定连接，所述磁力杆（3）内部的尺寸、规格均与所述进样腔体（2）内腔的尺寸、规格相匹配，所述磁力杆（3）的传递长度为0~700mm。

10.根据权利要求1所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述进样腔体（2）上可拆卸地设置有便于使用者手持搬运的便携提手（7）。