[实用新型]导热板结构及冷阱

说明书

本实用新型公开了导热板结构及冷阱，涉及泵设备技术领域。包括至少两组圆环状导热板，至少两组所述圆环状导热板为同心圆结构；其中，所述圆环状导热板包括第一半环状导热板以及第二半环状导热板；所述第一半环状导热板一端部与所述第二半环状导热板一端部扣合连接，所述第一半环状导热板另一端部以及所述第二半环状导热板另一端部均与冷阱中的高频脉冲管制冷器螺接；该导热板结构使得油扩散泵的使用性能好，并且节约时间成本。

技术领域

本实用新型涉及泵设备技术领域，尤其是涉及导热板结构及冷阱。

背景技术

在高真空过程中，常用的真空泵为油扩散泵，在通常的设计中，为了防止油扩散泵在喷射过程中返油，则需要在油扩散泵的进口中加装冷阱，冷阱温度越低，则防返油的效果越好。为此，当返油量控制要求比较高时，需要用到冷阱，其中，超低渐冷阱的温度可达零下200℃，如液氮冷阱、脉冲制冷冷阱等；由于油扩散泵的进气口为圆形，在冷阱中为了将冷量传导到油扩散泵上方的进气口，需要有导热系数高的导热板，当进气气流流径导热板时，导热板冷却周边的气体，同时起到改变周边气体的流动的效果；

油扩散泵被广泛应用于电子工业的烧结领域，为了保证电容等电子元器件在高温高真空下充分挥发杂质，油扩散泵等设备保证烧结炉内的真空度保持在10-4Pa的真空量级。然而杂质挥发后，在通过油扩撒泵的前级端口的冷阱冷却时，大量附着在冷阱中的导热板结构上，其中，导热板结构包括多个圆环状导热板，多个圆环状导热板为同心结构，且每一个圆环状导热板为一个整体的结构，经过一段时间的后，导热板表面附着的异物越来越多，烧结炉的真空度明显下降，以致达到最低的使用要求；由于每一个圆环状导热板为一个整体的结构，不便从冷阱上拆卸，油扩散泵的冷阱却不得不整体拆解清洗，然而整体拆解会有密封件损伤、其他异物进入、油品吸水、零件跟油品氧化等风险，导致泄露或真空异常，从而导致油扩散泵的使用性能不好，并且，整体拆卸会增加时间成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供导热板结构及冷阱，该导热板结构使得油扩散泵的使用性能好，并且节约时间成本。

为实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

根据本实用新型的一方面，提供导热板结构，包括至少两组圆环状导热板，至少两组所述圆环状导热板为同心圆结构；其中，

所述圆环状导热板包括第一半环状导热板以及第二半环状导热板；

所述第一半环状导热板一端部与所述第二半环状导热板一端部扣合连接，所述第一半环状导热板另一端部以及所述第二半环状导热板另一端部均与冷阱中的高频脉冲管制冷器螺接。

进一步地，所述第一半环状导热板一端部设有背向所述第二半环状导热板凹陷的凹槽，所述第二半环状导热板设有与所述凹槽配合的凸起；

所述凸起与所述凹槽扣合连接。

进一步地，所述第一半环状导热板以及所述第二半环状导热板均包括上导热板以及下导热板；

所述上导热板的上表面一体化设置有散热片，且所述上导热板与所述下导热板之间设有导热液槽；

所述上导热板与所述下导热板紧密贴合连接。

进一步地，所述导热液槽呈连续弯曲的U型结构。

进一步地，所述上导热板的边缘一体化设置有第一连接部，所述下导热板的边缘一体化设置有第二连接部；

所述第一连接部与所述第二连接部螺接。

进一步地，所述上导热板以及所述下导热板均采用导热金属板材。

进一步地，所述上导热板为铜板，所述下导热板为钢板。

进一步地，所述下导热板的外表面镀有防锈镀层。