[实用新型]四足压电步进运动台及集成直线电机

权利要求书

1.一种四足压电步进运动台，包括第一驱动足、第二驱动足、第三驱动足、第四驱动足、第一支撑机构、第二支撑机构、第三支撑机构、第四支撑机构、预紧机构、动子和基座；其特征在于：所述第一驱动足、第二驱动足、第三驱动足和第四驱动足相对于所述动子呈对称分布，且所述第一驱动足和所述第二驱动足分别与所述第三驱动足和所述第四驱动足分别沿所述动子径向对称分布，所述第一驱动足和所述第三驱动足分别与所述第二驱动足和所述第四驱动足分别沿所述动子轴向对称分布；

所述第一驱动足的一端通过所述第一支撑机构与所述基座固定连接，另一端通过所述预紧机构紧抱所述动子；所述第二驱动足的一端通过所述第二支撑机构与所述基座固定连接，另一端通过所述预紧机构紧抱所述动子；所述第三驱动足的一端通过所述第三支撑机构与所述基座固定连接，另一端通过所述预紧机构紧抱所述动子；所述第四驱动足的一端通过所述第四支撑机构与所述基座固定连接，另一端通过所述预紧机构紧抱所述动子；

所述预紧机构为一组X型的杠杆机构，所述杠杆机构包括第一预紧杆、第二预紧杆、第三预紧杆、第四预紧杆、第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆、第四支撑杆、弹簧；

所述第一预紧杆、第二预紧杆、第三预紧杆和第四预紧杆相对于所述动子呈对称分布，且所述第一预紧杆和所述第二预紧杆分别与所述第三预紧杆和所述第四预紧杆沿所述动子径向对称分布，所述第一预紧杆和所述第三预紧杆分别与所述第二预紧杆和所述第四预紧杆沿所述动子轴向对称分布；所述第一预紧杆、第二预紧杆、第三预紧杆、第四预紧杆的外侧端分别与所述第一驱动足、第二驱动足、第三驱动足、第四驱动足相接触，分别为所述第一驱动足、第二驱动足、第三驱动足、第四驱动足提供预紧力使其抱紧动子。

2.根据权利要求1所述的四足压电步进运动台，其特征在于：所述第一支撑杆和第二支撑杆设置于所述第一预紧杆与第三预紧杆之间；所述第一支撑杆长于第二支撑杆并位于第二支撑杆外侧；所述第三支撑杆和第四支撑杆设置于第二预紧杆与第三预紧杆之间；所述第三支撑杆长于第四支撑杆并位于第四支撑杆外侧；所述第一支撑杆和第三支撑杆分别与第二支撑杆和第四支撑杆沿所述动子径向对称分布。

3.根据权利要求2所述的四足压电步进运动台，其特征在于：所述弹簧沿所述动子轴向连接所述第一支撑杆中点与第三支撑杆的中点；所述弹簧将所述第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆、第四支撑杆向中心拉紧，使第一预紧杆和第三预紧杆与第二预紧杆和第四预紧杆之间夹角变大。

4.根据权利要求3所述的四足压电步进运动台，其特征在于：所述第一驱动足包括第一柔性万向节、第二柔性万向节、叠层压电陶瓷、位移转换机构、金属预压机构和金属摩擦球；所述金属预压机构即为一个套在所述叠层压电陶瓷外的一个弹性金属套；

所述第一柔性万向节的一端与所述第一支撑机构相连，另一端与所述金属预压机构一端相连；所述第二柔性万向节的一端与所述金属预压机构的另一端相连，另一端与所述位移转换机构相连；所述位移转换机构通过所述金属摩擦球与所述动子相连；所述第二驱动足、第三驱动足、第四驱动足的结构均与所述第一驱动足的结构相同。

5.根据权利要求4所述的四足压电步进运动台，其特征在于：所述金属摩擦球分别与所述第一驱动足、第二驱动足、第三驱动足、第四驱动足的接触面形状为V型，所述第一驱动足、第二驱动足、第三驱动足、第四驱动足分别与所述金属摩擦球的接触面的形状为O型。

6.根据权利要求5所述的四足压电步进运动台，其特征在于：所述第一支撑机构包括底座和支座，所述底座与所述基座固定连接；所述支座与所述第一驱动足固定连接，用于支撑所述第一驱动足；所述第二支撑机构、第三支撑机构、第四支撑机构的结构与所述第一支撑机构的结构相同，并分别支撑所述第二驱动足、第三驱动足、第四驱动足。

7.一种四足压电步进集成直线电机，其特征在于采用了上述权利要求1至6中任意一项所述的四足压电步进运动台；还包括直线电机，所述直线电机包括一转接板；所述动子通过所述转接板与所述基座固定连接。