[实用新型]能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置

说明书

本实用新型公开了一种能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置，包括显微载物台、透射投影载物台、反射投影载物台；显微载物台正上方从下至上依次设有显微放大镜、第一半透半反分光镜、成像透镜和CMOS相机；透射投影载物台位于显微载物台正下方，透射投影载物台正下方设有第二半透半反分光镜；第一半透半反分光镜两侧分别设有反射投影载物台和第一反射镜，第二半透半反分光镜两侧分别设有光源和第二反射镜；还包括显微透射光阑、第一反射投影光阑和第二反射投影光阑。通过选择不同光阑的开与关，在一台装置内实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量，降低企业仪器购置成本，提高测量效率。

技术领域

本实用新型涉及光学测量装置技术领域，尤其涉及一种能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置。

背景技术

显微镜、影像测量仪等光学测量仪器是光学、机械、电子、计算机等领域相关技术交叉融合的产物，广泛的应用于机械零件、微电子器件、光学元件、电子印刷制品等工业/消费品的检测当中。

传统的测量投影量的方法是采用一个投影装置，然后用人眼或CCD相机采集的投影图案。该方法较常见和容易实现，但需要通过人眼来判断，并且就算是采用CCD相机来采集，也并不能实现测量分析。

而对于显微的测量，传统使用金相显微镜或者影像测量仪来实现。但金相显微镜只能测量视场内的尺寸，其运动平台不具有测量功能，因此对于较大尺寸的显微，难以实现。而影像测量仪，其放大倍率较小，大倍率的只有250倍左右，不适用于尺寸较小的被测物。并且，现在暂时没有能同时实现显微测量和投影量测量的装置。

实用新型内容

本实用新型针对上述问题，提供一种能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置。

本实用新型的目的可以通过下述技术方案来实现：一种能实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量的装置，包括显微载物台、透射投影载物台、反射投影载物台；所述显微载物台水平设置，显微载物台的正上方从下至上依次设有显微放大镜、第一半透半反分光镜、成像透镜和CMOS相机；所述透射投影载物台水平设置且布置于显微载物台的正下方，透射投影载物台和显微载物台之间设有第一透镜组件，透射投影载物台的正下方设有第二半透半反分光镜；所述第一半透半反分光镜的两侧分别设有所述反射投影载物台和第一反射镜，所述反射投影载物台和第一反射镜与第一半透半反分光镜位于同一水平位置，所述第二半透半反分光镜的两侧分别设有光源和第二反射镜，所述反射投影载物台竖直设置且与光源位于同侧，所述第一反射镜位于第二反射镜的正上方且第一反射镜和第二反射镜之间设有第二透镜组件；其中，所述透射投影载物台和第二半透半反分光镜之间设有显微透射光阑，所述第二透镜组件和第二反射镜之间设有第一反射投影光阑，所述第一半透半反分光镜和反射投影载物台之间设有第二反射投影光阑。

进一步地，所述显微载物台上设有投影屏。

进一步地，所述第一半透半反分光镜的设置角度与第二半透半反分光镜的设置角度为沿水平线对称设置。更进一步地，所述第二半透半反分光镜与光源的光路方向的夹角为45°。

进一步地，所述第一透镜组件包括第一放大透镜和第一凸透镜，所述第一放大透镜和第一凸透镜为从下至上地依次布置于透射投影载物台和显微载物台之间。

进一步地，所述第二透镜组件包括第二放大透镜和第二凸透镜，所述第二放大透镜和第二凸透镜为从下至上地依次布置于第一反射镜和第二反射镜之间。

进一步地，所述第一反射镜的设置角度与第二反射镜的设置角度为沿水平线对称设置。更进一步地，所述第一反射镜和第二反射镜均为45°反射镜。

进一步地，还包括计算机，所述计算机与CMOS相机连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：将被测物放置在对应的载物台上，通过选择不同光阑的开与关，在一台装置内实现显微测量、透射投影测量和反射投影测量，降低了企业仪器购置成本，提高了测量效率。