[实用新型]一种晶体生长炉用保温侧屏

说明书

本实用新型公开了一种晶体生长炉用保温侧屏，涉及晶体生长装置技术领域。本实用新型包括内屏组和外屏组，内屏组由若干筒状内屏同心设置形成，外屏组由若干筒状外屏同心设置形成；内屏组设于外屏组内，内屏组的高度小于外屏组；外屏组上布置有若干筋条，穿过外屏组与内屏组将其固定连接；筋条在外屏组的圆周上均布。本实用新型的径向筋条骨架可以提高整个保温侧屏的机械强度，避免出现相邻内、外屏的连锁坍塌，而加固组件可以减小保温侧屏径向上的变形错位，避免影响籽晶杆的正常工作。

技术领域

本实用新型涉及晶体生长装置技术领域，特别是一种晶体生长炉用保温侧屏。

背景技术

晶体生长炉是单晶体生长设备，按照晶体生长方法可分为提拉法浸提生长炉、坩埚下降法晶体生长炉、区熔法晶体生长炉等。提拉法又称乔赫拉斯基法，是半导体领域中应用最广，产量最大的单晶制备方法。基本原理是利用单晶籽晶从坩埚熔体中向上提拉，使晶体按籽晶的晶向垂直向上生长成所需直径的单晶，晶体生长炉的基本结构包括炉室、内置坩埚、保温罩、加热系统和抽真空系统等。

现有的保温罩一般为金属制，由上屏蔽装置、下屏蔽装置和直筒状的侧屏蔽装置组成，上屏蔽装置、下屏蔽装置分别盖合在侧屏蔽装置的上下两个端口上。上、下屏蔽装置和侧屏蔽装置围合形成一个保温腔室，用于盛放高温熔体的坩埚放置在该保温腔室中，连接有单晶籽晶的籽晶杆穿过上屏蔽装置的开口伸入坩埚中。由于晶体生长所需的温度一般高达数千度，这就对保温罩的结构设计和制造工艺提出了极高的要求。

目前，金属侧屏面临的主要问题有两点：(1)因局部强度不够造成加热后容易形成坍塌，从而导致热场整体结构遭受很大程度上的破坏，影响热场温度的均匀分布；(2)因变形难以保持特定的几何形状，从而引起上屏错位锁死，影响籽晶杆的升降旋转。鉴于以上出现的问题，迫切需要对现有金属侧屏的设计进行突破和创新。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于：针对高温引起金属侧屏坍塌造成温场结构被破坏的问题，以及上屏错位锁死影响籽晶杆正常工作的问题，本实用新型提供一种晶体生长炉用保温侧屏。

本实用新型采用的技术方案如下：一种晶体生长炉用保温侧屏，包括内屏组和外屏组，所述内屏组由若干筒状内屏同心设置形成，所述外屏组由若干筒状外屏同心设置形成；所述内屏组设于外屏组内，所述内屏组的高度小于外屏组；所述外屏组上布置有若干筋条，穿过外屏组与内屏组将其固定连接；所述筋条在外屏组的圆周上均布。

由于上述结构的设置，若干筋条形成保温侧屏的径向骨架，将内屏组和外屏组整合成一个有机整体，提高整个保温侧屏的机械强度。当保温侧屏的某一内屏或外屏由于强度不足而出现变形时，若干筋条形成的径向骨架可以弥补局部强度不足的缺陷，避免其引起相邻内、外屏的连锁坍塌。

进一步地，所述内屏组的若干内屏之间设置有一定的间距，且任意相邻的内屏之间的间距相等；所述外屏组的若干外屏之间设置有一定的间距，且任意相邻的外屏之间的间距相等。

由于上述结构的设置，等间距设置的若干内屏和外屏在坩埚外围形成的温场结构更稳定，温场温度分布更均匀，有利于提高晶体生长的效率。

进一步地，所述外屏组上设有若干加固组件，所述加固组件包括固定连接的保持板与延长支撑板，所述延长支撑板在外屏组外壁被筋条固定连接；所述保持板在内屏组和外屏组的顶部将其二者限定。

由于上述结构的设置，保持板通过延长支撑板固定在最外层的外屏外壁上，与筋条形成的径向骨架连接成整体，进一步加强保温侧屏的机械强度，同时还能够避免保持板由于内、外屏组的变形挤压而与内、外屏组分离。

进一步地，所述保持板呈阶梯状设置；所述保持板的底面设有若干保持齿，任意两个保持齿之间设有一定间隙；使所述保持板的保持齿能插入内屏组和外屏组的间距内，限定内屏组和外屏组活动。