[实用新型]剥离工艺后金属回收系统有效

专利信息
申请号: 201821144323.8 申请日: 2018-07-19
公开(公告)号: CN208455046U 公开(公告)日: 2019-02-01
发明(设计)人: 刘忠贺;王一 申请(专利权)人: 沈阳芯源微电子设备有限公司
主分类号: C22B7/00 分类号: C22B7/00;H01L21/02
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 何丽英
地址: 110168 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 剥离工艺 二级过滤装置 一级过滤装置 单元腔体 金属回收系统 本实用新型 供液系统 节约 循环供液系统 金属回收率 腔体底板 化学液 晶圆
【权利要求书】:

1.一种剥离工艺后金属回收系统,其特征在于,包括单元腔体(8)、一级过滤装置(1)、二级过滤装置(2)及供液系统,其中一级过滤装置(1)设置于单元腔体(8)的腔体底板(13)上,所述一级过滤装置(1)通过管路与二级过滤装置(2)连接,所述二级过滤装置(2)通过供液系统与所述单元腔体(8)连接,形成循环供液系统。

2.根据权利要求1所述的剥离工艺后金属回收系统,其特征在于,所述一级过滤装置(1)包括过滤上罩(11)、滤网(12)及连接组件,其中滤网(12)设置于所述腔体底板(13)上的排废口内,所述过滤上罩(11)设置于所述单元腔体(8)内、且位于所述滤网(12)的上方,所述连接组件设置于所述腔体底板(13)的外侧、且与所述排废口连接。

3.根据权利要求2所述的剥离工艺后金属回收系统,其特征在于,所述滤网(12)的外圆周上设有围板(121),所述滤网(12)的中心设有连接柱(122),所述过滤上罩(11)的中心设有凸起(111),所述过滤上罩(11)通过凸起(111)与所述连接柱(122)螺纹连接,所述过滤上罩(11)与所述围板(121)之间留有环隙(17)。

4.根据权利要求2所述的剥离工艺后金属回收系统,其特征在于,所述连接组件包括过滤连接块(15)和排废接头(16),其中过滤连接块(15)与所述腔体底板(13)固定连接,所述排废接头(16)与所述过滤连接块(15)螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的剥离工艺后金属回收系统,其特征在于,所述二级过滤装置(2)包括供液桶(26)及设置于所述供液桶(26)顶部的过滤盒(27),所述过滤盒(27)内设有目数从上至下依次递增的多层过滤网,所述供液桶(26)顶部设有与所述过滤盒(27)连通的废液进口(21),底部设有与所述供液系统连接的出液口(25)。

6.根据权利要求5所述的剥离工艺后金属回收系统,其特征在于,所述过滤盒(27)内设有三层过滤网,上层过滤网的目数为50-90目,中层过滤网的目数为90-180目,下层过滤网的目数为180-250目。

7.根据权利要求5所述的剥离工艺后金属回收系统,其特征在于,所述供液桶(26)内设有加热装置(23)。

8.根据权利要求5所述的剥离工艺后金属回收系统,其特征在于,所述供液桶(26)与化学液自循环系统连接,所述化学液自循环系统包括化学液自循环管路(20)及设置于所述化学液自循环管路(20)上的自循环隔膜泵(4),所述化学液自循环管路(20)的两端分别与设置于所述供液桶(26)上、下端的循环进液口(22)和循环出液口(24)连接。

9.根据权利要求8所述的剥离工艺后金属回收系统,其特征在于,所述化学液自循环管路(20)上设有三通阀(3),所述三通阀(3)与供气管路(30)和排废管路(40)连接。

10.根据权利要求1所述的剥离工艺后金属回收系统,其特征在于,所述供液系统包括供液管路(10)及设置于所述供液管路(10)上的供液隔膜泵(9)和多级过滤装置,所述供液管路(10)的两端分别与所述二级过滤装置(2)和所述单元腔体(8)连接。

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