[实用新型]铜铟镓硒（CIGS）薄膜太阳能电池电沉积装置

说明书

本实用新型涉及铜铟镓硒（CIGS）薄膜太阳能电池电沉积设备，包括控制器、移动装置、机体、电镀槽、喷水清洗槽、浸泡清洗槽、高压N₂吹干槽、高压气瓶。在CIGS薄膜太阳能电池的制备过程中，为了提高原材料的利用率，改善大面积生产均匀性，提升产品质量和降低生产成本等问题，本实用新型通过新型的铜铟镓沉积设备，可以很好的将Cu、In、Ga沉积在基片(待沉积件)上，并可以提高沉积速度，改善大面积生产均匀性以及降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其是涉及铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池点沉积装置。

背景技术

CIGS太阳能电池由Cu(铜)、In(铟)、Ga(镓)、Se(硒)四种元素构成，由于其效率高、无衰退、抗辐射、寿命长、成本低廉等特点，是备受人们关注的一种新型光伏电池产品，经过近30年的研究和发展，其光电转换率为所有已知薄膜太阳能电池中最高的。而且其光谱响应范围宽，在阴雨天条件下输出功率高于其他任何种类太阳电池。在CIGS的制备过程中，虽然共蒸法和溅射后硒化法具有较高的实验室光电转换效率，可视为理想的产业化路线，目前国际上产业化生产也多采用此方法，但其原材料使用率低，大面积生产均匀性不好，不利于降低生产成本和提升产品质量。本实用新型CIGS薄膜太阳能电池电沉积装置具有沉积速度快、材料利用率和成膜效率高、装置简单、Cu-In-Ga预置层的组成容易控制、重现性和大面积均匀性好、溶液维护简单等特点。

发明内容

在CIGS薄膜太阳能电池的制备过程中，为了提高原材料的利用率，改善大面积生产均匀性，提升产品质量和降低生产成本等问题。本实用新型通过新型的铜铟镓沉积装置，可以很好的将Cu、In、Ga沉积在基片(待沉积件)上，并可以提高沉积速度，改善大面积生产均匀性以及降低生产成本。

实现本实用新型的技术方案如下：

铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池电沉积装置，其特征在于，包括控制器、移动装置、机体、电镀槽、喷水清洗槽、浸泡清洗槽、高压N₂吹干槽、高压气瓶；所述控制器，用来控制移动装置和高压气瓶的工作；所述移动装置，包括滑动台、升降架、产品架；所述机体，用于放置电镀槽、喷水槽、浸泡清洗槽、高压N₂吹干槽，而且布置有移动装置滑动台移动的滑轨；所述电镀槽，布置在喷水清洗槽前面，里面盛有电镀液，其上布置Cu电极、In电极和Ga电极；所述喷水清洗槽前面，盛有水溶液，布置在浸泡清洗槽前面，用以清洗镀层产品件；所述浸泡清洗槽，盛有水溶液，布置在第二道电镀槽前面；所述高压N₂吹干槽，布置在第三道浸泡清洗槽，用以吹干沉积基片，防止其氧化，并为硒化做准备；所述高压气瓶，内部装有N₂，罐壁装有气管，气管上布置哟若干有喷气头。

所述滑动台，安装在滑轨上并可沿滑轨滑动；

所述升降架，安装在滑动台上，可以沿滑动台上下升降；

所述产品架，安装在升降机上，基片可以放置在上面，经控制器通电后使基片带有负电荷。

附图说明

图1为本实用新型的总体结构示意图。

控制器1、产品架2、升降架3、滑动台4、滑轨5、Cu电极6、Cu电极槽7、喷水清洗槽(a)8、浸泡清洗槽(a)9、In电极10、In电极槽11、喷水清洗槽(b)12、浸泡清洗槽(b)13、Ga电极14、Ga电极槽15、喷水清洗槽(c)16、浸泡清洗槽(c)17、高压N₂吹干槽18、喷气头19、气管20、高压气瓶21、机体22

具体实施方式

现结合附图详细说明本实用新型结构的实施方式：