[实用新型]汽车曲面玻璃镀膜设备有效
申请号: | 201821145580.3 | 申请日: | 2018-07-17 |
公开(公告)号: | CN208455053U | 公开(公告)日: | 2019-02-01 |
发明(设计)人: | 郭祖华;周凌;刘毅 | 申请(专利权)人: | 合肥威驰科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C03C17/00 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 娄岳 |
地址: | 230088 安徽省合肥市创新*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曲面玻璃 真空室 溅射阴极 加热器 镀膜设备 工艺气体 内弧面 外弧面 吻合 室内 压强 本实用新型 靶材原子 惰性气体 竖向布置 真空空间 气阀 放电 镀膜 溅射 置放 接通 汽车 | ||
本实用新型公开了一种汽车曲面玻璃镀膜设备,包括用于置放曲面玻璃的真空室,所述的真空室内设置有与曲面玻璃的外弧面相互吻合且临近的加热器,所述的真空室的一侧边设置有与曲面玻璃的内弧面相互吻合且临近布置的溅射阴极,所述的真空室通过气阀与工艺气体罐连接。将曲面玻璃竖向布置于真空室内,真空室形成真空空间,曲面玻璃的外弧面设置有加热器用于将其提升至一定工艺温度,通过工艺气体罐向真空室冲入惰性气体提升至一定工艺压强,接通溅射阴极开始放电,使溅射阴极的靶材原子溅射至曲面玻璃的内弧面完成镀膜。
技术领域
本实用新型属于镀膜设备领域,特别涉及一种汽车曲面玻璃镀膜设备。
背景技术
目前,智能玻璃正在全面取代LOW-E玻璃,并在汽车、高铁、酒店、地标性建筑等高端领域广泛运用。现在普遍采用真空溅射镀膜的方式在智能玻璃上产生薄膜,溅射镀膜过程中,惰性气体在高压下辉光放电,产生离子,随后离子轰击靶材表面,使靶材表面的原子获得能量并逸出表面,沉积在工件上形成薄膜。但是现有技术中,针对汽车曲面玻璃的镀膜设备,并没有很好地的布置形式来实现镀膜。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种汽车曲面玻璃镀膜设备,用于对曲面玻璃进行均匀的镀膜。
为了实现上述目的,本实用新型采取以下技术方案:一种汽车曲面玻璃镀膜设备,包括用于置放曲面玻璃的真空室,所述的真空室内设置有与曲面玻璃的外弧面相互吻合且临近的加热器,所述的真空室的一侧边设置有与曲面玻璃的内弧面相互吻合且临近布置的溅射阴极,所述的真空室通过气阀与工艺气体罐连接。
所述的真空室的一侧边设置有真空阀门,真空室通过气阀与真空泵连接。
所述的加热器采用红外线加热单元,所述的加热器与曲面玻璃之间设置有相吻合的曲面状的透光玻璃,真空泵与工艺气体罐通过气阀与曲面玻璃所在的真空室连通。
所述的真空室与加热器的外弧面临近的内壁上设置有反光材料。
所述的曲面玻璃布置于基板上,曲面玻璃的两端设置有与基板构成滑动配合的夹持板,基板的两相对侧边布置有挡板,处于同一侧的夹持板与挡板之间设置有压缩弹簧。
上述技术方案中,将曲面玻璃竖向布置于真空室内,真空室形成真空空间,曲面玻璃的外弧面设置有加热器用于将其提升至一定工艺温度,通过工艺气体罐向真空室冲入惰性气体提升至一定工艺压强,接通溅射阴极开始放电,使溅射阴极的靶材原子溅射至曲面玻璃的内弧面完成镀膜。
附图说明
图1为本实用新型平面布置示意图;
图2为曲面玻璃布置主视图。
具体实施方式
结合图1、2对本实用新型做出进一步的说明:
一种汽车曲面玻璃镀膜设备,包括用于置放曲面玻璃1的真空室2,所述的真空室2内设置有与曲面玻璃1的外弧面相互吻合且临近的加热器3,所述的真空室2的一侧边设置有与曲面玻璃1的内弧面相互吻合且临近布置的溅射阴极4,所述的真空室2通过气阀与工艺气体罐5连接。将曲面玻璃1竖向布置于真空室2内,真空室2形成真空空间,曲面玻璃1的外弧面设置有加热器3用于将其提升至一定工艺温度,通过工艺气体罐5向真空室2冲入惰性气体提升至一定工艺压强,接通溅射阴极4开始放电,使溅射阴极4的靶材原子溅射至曲面玻璃1的内弧面完成镀膜。
所述的真空室2的一侧边设置有真空阀门6,真空室2通过气阀与真空泵7连接。真空阀门6在真空室2中,用来改变气流方向,调节气流量大小,用于切断或接通管路,通过与真空泵7的配合调节真空室2为真空环境。
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