[实用新型]一种镀锅轴

说明书

一种镀锅轴，它包括依次连接的镀锅取付轴(1)、镀锅固定座(2)以及回转轮安装轴(3)，所述镀锅取付轴(1)的前端部设有贯穿镀锅取付轴(1)的取付卡销(4)，所述回转轮安装轴(3)末端设有弹簧销孔(5)，靠近回转轮安装轴(3)末端处还设有圆周向的卡环槽(6)，所述弹簧销孔(5)设在所述卡环槽(6)的外侧回转轮安装轴(3)的端部，所述镀锅固定座(2)为圆柱形，所述镀锅固定座(2)内设有沿圆周向分布的镀锅固定用沉孔(7)，所述镀锅固定座(2)与回转轮安装轴(3)连接处沿圆周向设有加强筋(8)。本实用新型至少具有强度高，不易掉落，安全性提高，成品率提高等优点。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备的技术领域，尤其涉及连接镀锅的一种镀锅轴。

背景技术

在高真空蒸发镀膜设备领域，由于行星转镀锅方式的装片量比较多，被广泛采用。行星转的方式是在真空镀膜设备的腔体内上部安装一个公转轨道，作为回转轨道。轨道上安装回转治具，回转治具的公转轮子在轨道上回转(公转)。镀锅通过镀锅轴与回转轮子连接，回转轮子在回转时，带动镀锅高速回转。镀锅在单位时间内高速进行公转和自转，镀锅上装载的基片同样进行公转和自转，基片在镀膜范围内反复移动，从而保证了镀膜的均匀性。

现有技术中普遍采用的镀锅轴与公转轮子连接方式是在镀锅轴上，加工一个销孔，销孔上安装一个小的圆形销子，销子通过与公转轮子上的U型凹槽嵌合，形成啮合连接。

现有技术的缺陷：由于镀锅轴上加工了上述销孔，所以轴的整体强度降低，容易发生弯曲变形和卡死。在镀锅及镀锅上装载产品的重量较重时，高速回转时由于离心力的不平衡性，引起镀锅轴变形，从而导致镀锅的角度发生变化，在回转时发生卡死或与腔体碰撞的问题。连接公转轮和镀锅轴的卡夹零件在使用时间稍长后，由于弹性变形的原因，不能把镀锅轴卡牢固，在高速回转时，容易引起镀锅掉落，造成产品报废和腔体内部品损坏。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种镀锅轴，其至少具有强度高，不易掉落，安全性提高，成品率提高等优点。

为达到上述目的，本实用新型通过以下技术方案来实现：

一种镀锅轴，它包括依次连接的镀锅取付轴、镀锅固定座以及回转轮安装轴，所述镀锅取付轴的前端部设有贯穿镀锅取付轴的取付卡销，所述回转轮安装轴末端设有弹簧销孔，靠近回转轮安装轴末端处还设有圆周向的卡环槽，所述弹簧销孔设在所述卡环槽的外侧回转轮安装轴的端部，所述镀锅固定座为圆柱形，所述镀锅固定座内设有沿圆周向分布的镀锅固定用沉孔，所述镀锅固定座与回转轮安装轴连接处沿圆周向设有加强筋。

作为优选实施方案之一，所述镀锅固定座内均匀分布有四个镀锅固定用沉孔。

作为优选实施方案之一，所述加强筋为凸起状，沿镀锅固定座和回转轮安装轴的连接处，圆周向均匀分布。

优选地，所述加强筋有四个。

作为优选实施方案之一，所述镀锅取付轴、镀锅固定座以及回转轮安装轴为一体加工成型。

本实用新型的有益效果：

本实用新型通过去掉镀锅轴上的销孔，而增加加强筋结构，增强了轴的整体强度，解决了轴的弯曲变形问题，提高了生产安全性和成品率，同时加强筋还能够起到为回转轮的回转轴套提供定位的作用。同时，在本实用新型顶端，增加了弹簧销孔，可以配装弹簧插销。本实用新型与镀锅之间的连接结构更加紧密、稳定可靠，彻底解决了在镀锅高速回转时，因卡夹固定的不牢固导致的镀锅掉落问题。因此，本实用新型至少具有强度高，不易掉落，安全性提高，成品率提高等优点。

附图说明

下面利用附图来对本实用新型进行进一步的说明，但是附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制。

图1是本实用新型一优选实施例的侧视结构示意图。