[实用新型]用于检测硅片位置的检测装置

说明书

本实用新型公开了一种用于检测硅片位置的检测装置。其中检测装置包括摄像模组，与所述摄像模组相适配的光源，驱动所述摄像模组及光源沿正交两个方向运动的驱动机构，用于检测硅片至石墨舟的舟页之间距离的测距装置。本实用新型检测精度高，可以有效避免误差。

技术领域

本实用新型涉及石墨舟自动装卸片机设备，尤其涉及一种石墨舟硅片检测装置。

背景技术

随着时间的推移，化石能源的稀缺性将越来越明显。在化石能源供应日趋紧张的背景下，太阳能作为人类取之不尽用之不竭的可再生能源，其特有的充分清洁性，绝对安全性，相对的广泛性，在长期的能源战略中具有重要的影响地位。石墨舟自动装卸片机作为光伏制造业自动化设备的典型代表，用于太阳能电池片生产过程中的PECVD工艺前后，将硅片自动装载到石墨舟中或将石墨舟中的硅片自动装载到片篮中，其具有自动化及生产效率高、减少人工与硅片的接触污染、大幅度增加取放片的稳定性等特点，被业界公认为光伏制造行业的重点设备。

但是，由于PECVD 的工艺温度较高，石墨舟中的硅片经PECVD主体机中工艺后传输至石墨舟插片机过程中，由于空气的热胀冷缩可能会引起硅片翘片，且传输的过程中也会有石墨舟内硅片掉片的不良情况出现，这些翘片、掉片若不处理，机械手卸片时可能会引起因位置错位而导致的大量碎片的情况，不仅影响了工作效率，也对公司造成了大量的经济损失。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述现有技术中的问题，提出一种用于检测硅片位置的检测装置，包括：摄像模组，与所述摄像模组相适配的光源，驱动所述摄像模组及光源沿正交两个方向运动的驱动机构，用于检测硅片至石墨舟的舟页之间距离的测距装置。

在一个实施例中，所述摄像模组设有至少一个远心镜头，所述远心镜头的光轴与其正对着的石墨舟的侧面垂直。

优选的，所述光源对应每一个远心镜头一共设有两组，两组光源与镜头的光轴呈45度设置，且两组光源发出的光相互垂直交叉。

在另一个实施例中，所述摄像模组为激光收发装置，所述激光收发装置朝向所述硅片发出激光束，并接收形成相应的图像。

本实用新型通过激光或相机拍摄图像，同时从不同的角度打光，使得石墨舟中的硅片位置状态可以得到有效的反映，同时追加了测距装置，来辅助查看硅片的位置状态，可以有效的避免硅片与舟片颜色相近时完全靠人眼区分时出现的误差。

附图说明

图1本实用新型的装置仰视图；

图2为本实用新型的石墨舟的侧面示意图；

图3为图2的A点处的细节放大图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细、完整地说明。

图1示出的是本实用新型检测装置一个具体实施例的结构示意图，包括：驱动机构、摄像模组、光源、测距装置。

驱动机构设有一个方形的框架1，该框架1与石墨舟5的检测面（如图2所示）大小相匹配，框架1的两条相对侧边设有导轨11，两个导轨之间设有一个中间导轨12，中间导轨上安装着支架2，支架上固定着摄像模组、光源4以及测距装置等，通过电机可以驱动支架沿着中间导轨移动以及驱动中间导轨沿着导轨移动，从而使得摄像模组可以在检测面的正交两个方向上移动，可以获取到石墨舟检测面上的每一个检测点的图像。