[实用新型]一种动密封结构及采用该结构的磁控溅射设备有效
| 申请号： | 201821156734.9 | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN209340504U | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 刘洋;汪振南;雷绍温;杨永雷;见东伟;张伟;邬英;刘福山;韩晓琳 | 申请（专利权）人： | 山西米亚索乐装备科技有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/24 | 分类号： | F16J15/24 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 陈庆超;桑传标 |
| 地址： | 037000 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 密封套筒 动密封结构 旋转法兰 连接轴 靶芯 径向密封件 轴向密封圈 磁控溅射 顶压机构 空隙密封 旋转靶 磁控溅射技术 磁控溅射设备 端面密封结构 本实用新型 密封效果好 冷却介质 应用场景 顶压 泄漏 配合 | ||
1.一种动密封结构，用于将磁控溅射旋转靶的旋转法兰(1)和靶芯连接轴(2)之间的空隙密封，其特征在于，包括径向密封件(3)和轴向密封圈(4)，所述径向密封件(3)包括与所述旋转法兰(1)配合的密封套筒(31)，所述密封套筒(31)后方设有顶压机构(32)，所述顶压机构(32)将所述密封套筒(31)顶压到所述旋转法兰(1)上，使所述旋转法兰(1)与所述密封套筒(31)配构成端面密封结构；所述轴向密封圈(4)设置在所述密封套筒(31)与所述靶芯连接轴(2)之间，将靶芯连接轴(2)与密封套筒(31)之间的空隙密封。
2.根据权利要求1所述的动密封结构，其特征在于，所述顶压机构(32)包括与所述靶芯连接轴(2)固设在一起的固定件(321)，活动顶压在所述固定件(321)与所述密封套筒(31)之间的弹性件(322)。
3.根据权利要求2所述的动密封结构，其特征在于，所述固定件(321)为螺接在所述靶芯连接轴(2)上的螺母，所述弹性件(322)为压缩在所述螺母与所述密封套筒(31)之间的弹簧。
4.根据权利要求3所述的动密封结构，其特征在于，所述弹簧与螺母之间和/或弹簧与密封套筒(31)之间设有垫圈(323)。
5.根据权利要求1所述的动密封结构，其特征在于，所述密封套筒(31)前端设有环形卡槽(311)，所述旋转法兰(1)设有与所述环形卡槽(311)对应的环形凸台(11)，所述环形卡槽(311)与所述环形凸台(11)对应构成端面密封结构。
6.根据权利要求1所述的动密封结构，其特征在于，所述密封套筒(31)前端设有环形凸台(11)，所述旋转法兰(1)设有与所述环形凸台(11)对应的环形卡槽(311)，所述环形卡槽(311)与所述环形凸台(11)对应构成端面密封结构。
7.根据权利要求5或6所述的动密封结构，其特征在于，所述环形凸台(11)与所述环形卡槽(311)之间还设有环形密封垫圈(323)。
8.根据权利要求1所述的动密封结构，其特征在于，所述密封套筒(31)内壁开有定位槽(312)，所述轴向密封圈(4)对应安装在所述定位槽(312)与所述靶芯连接轴(2)之间。
9.根据权利要求1-6、8任一项所述的动密封结构，其特征在于，
所述密封套筒(31)的与所述旋转法兰(1)对接的一端的内壁和/或外壁具有渗碳层。
10.一种磁控溅射设备，其特征在于，采用权利要求1-8任意一项权利要求所述的动密封结构。
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