[实用新型]一种晶体生长炉用保温托盘及保温罩有效
申请号: | 201821157980.6 | 申请日: | 2018-07-18 |
公开(公告)号: | CN208701246U | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 王大庆 | 申请(专利权)人: | 成都新源汇博光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 胡川 |
地址: | 610207 四川省成都市高*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 保温托盘 侧屏 本实用新型 环状盘体 保温罩 晶体生长炉 环状槽 上屏 通孔 晶体生长设备 等间距布置 热量散失 受热变形 上表面 同心的 码放 内壁 锁死 凸缘 错位 支撑 | ||
1.一种晶体生长炉用保温托盘,包括环状盘体(100),所述环状盘体(100)的中部设有通孔,在该通孔的内壁上设有凸缘(200);其特征在于:所述环状盘体(100)的上表面布置有若干同心的环状槽(300),所述环状槽(300)之间等间距布置。
2.如权利要求1所述的晶体生长炉用保温托盘,其特征在于,所述环状槽(300)呈内凹结构;在环状槽(300)的截面上,所述环状槽(300)的底部设为平直部(320),所述环状槽(300)的底部边缘设为弯曲部(310),所述弯曲部(310)位于平直部(320)的两侧,所述平直部(320)的宽度与对应的侧屏(400)的厚度相匹配。
3.如权利要求2所述的晶体生长炉用保温托盘,其特征在于,所述环状盘体(100)的边缘处设有若干缺口,该缺口与侧屏(400)的加固组件(430)相匹配。
4.一种采用权利要求1-3之一所述的保温托盘的保温罩,其特征在于:包括环状盘体(100)、侧屏(400)和上屏(500),所述侧屏(400)包括内屏组(410)合外屏组(420),所述内屏组(410)设于外屏组(420)内同心布置,所述外屏组(420)上通过筋条(440)穿过内屏组(410)固定连接,所述内屏组(410)的高度小于外屏组(420)的高度,所述内屏组(410)与外屏组(420)置于环状盘体(100)上,所述内屏组(410)与外屏组(420)的顶部盖设有上屏(500)。
5.如权利要求4所述的保温罩,其特征在于,所述内屏组(410)由若干筒状内屏同心设置形成,所述外屏组(420)由若干筒状外屏同心设置形成;所述筋条(440)在外屏组(420)的圆周上均布。
6.如权利要求5所述的保温罩,其特征在于,所述内屏组(410)的若干内屏之间设置有一定的间距,且任意相邻的内屏之间的间距相等;所述外屏组(420)的若干外屏之间设置有一定的间距,且任意相邻的外屏之间的间距相等。
7.如权利要求5或6所述的保温罩,其特征在于,所述外屏组(420)上设有若干加固组件(430),所述加固组件(430)包括固定连接的保持板(431)与延长支撑板(433),所述延长支撑板(433)在外屏组(420)外壁被筋条(440)固定连接;所述保持板(431)在内屏组(410)和外屏组(420)的顶部将其二者限定。
8.如权利要求7所述的保温罩,其特征在于,所述保持板(431)呈阶梯状设置;所述保持板(431)的底面设有若干保持齿(432),任意两个保持齿(432)之间设有一定间隙;使所述保持板(431)的保持齿(432)能插入内屏组(410)和外屏组(420)的间距内,限定内屏组(410)和外屏组(420)活动。
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