[实用新型]一种网带式光亮退火炉

说明书

本实用新型公开了一种网带式光亮退火炉，包括退火炉体，所述退火炉体由上炉体和下炉体组成，所述上炉体和下炉体内表面均设有保温隔热层，所述上炉体上端和下炉体底端均安装有风机，所述风机内设有电热丝，所述风机通过连接管连接有热风管，所述退火炉体两侧面分别贯穿设有进料口和出料口，所述退火炉体两侧均设有网带架，所述网带架内转动安装有从动辊和主动辊，所述退火炉体两侧网带架内的从动辊和主动辊之间通过传送网带连接，本实用新型，退火炉体内部加热速度快，加热均匀，保温效果增强，且退火炉体由上炉体和下炉体组合而成，拆卸安装方便，便于工作人员对退火炉体内部进行清理检查维修。

技术领域

本实用新型涉及光亮退火炉技术领域，具体是一种网带式光亮退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的，光亮退火炉是退火炉的一种，目前的网带式光亮退火炉大多数为一体式结构，退火炉无法拆卸，内部不易清理检查维修，且退火炉在加热时，存在加热速度慢、加热不均匀等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种网带式光亮退火炉，以解决现有技术中网带式光亮退火炉大多数为一体式结构，退火炉无法拆卸，内部不易清理检查维修，且退火炉在加热时，存在加热速度慢、加热不均匀等问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种网带式光亮退火炉，包括退火炉体，所述退火炉体由上炉体和下炉体组成，所述上炉体和下炉体之间通过紧固螺栓紧固连接，所述上炉体和下炉体内表面均设有保温隔热层，所述上炉体上端和下炉体底端均安装有风机，所述风机内设有电热丝，所述风机通过连接管连接有热风管，所述热风管位于上炉体和下炉体内部设置，所述热风管表面设有热气口，所述退火炉体两侧面分别贯穿设有进料口和出料口，所述退火炉体两侧均设有网带架，所述网带架内转动安装有从动辊和主动辊，所述主动辊位于从动辊的下方，所述网带架外安装有伺服电机，所述伺服电机输出端与主动辊之间固定连接，所述退火炉体两侧网带架内的从动辊和主动辊之间通过传送网带连接，所述传送网带从进料口进入从出料口穿出设置，所述网带架和退火炉体底端均安装有支撑底座。

优选的，所述上炉体和下炉体形状结构均相同，所述上炉体和下炉体连接处表面均设有密封条。

优选的，所述上炉体和下炉体两侧端均设有凹槽，所述上炉体和下炉体上的凹槽闭合后形成进料口和出料口，所述凹槽端通过扭簧连接设有盖板。

优选的，所述上炉体和下炉体表面凹槽两侧设有连接块，所述连接块表面设有螺栓孔。

优选的，所述上炉体上端的风机和下炉体底端的风机均设有四个，且风机之间等间距排列设置，所述热风管表面的热气口设有三个以上，且相互之间等间距排列。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：退火炉体内部加热速度快，加热均匀，保温效果增强，且退火炉体由上炉体和下炉体组合而成，拆卸安装方便，便于工作人员对退火炉体内部进行清理检查维修，在凹槽内设置的盖板能够对进料口和出料口进行挡盖，减少了热量从进料口和出料口内散失，保温效果好在上炉体和下炉体连接处设置的密封条能够提高上炉体和下炉体组合后的密封性，密封效果好，便于使用，在上炉体和下炉体内部设置的保温隔热层能够起到保温隔热的效果，退火炉体内部的热量均匀，散失慢，保温效果增强，整个设备结构简单，使用方便，实用性强。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型网带架内部结构示意图。

图3为本实用新型上炉体结构示意图。

图4为本实用新型上炉体和下炉体连接结构示意图。