[实用新型]一种卷绕镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种卷绕镀膜机，包括有真空室以及设置在真空室内部的卷绕系统和靶极，靶极和卷绕系统均连接有控制系统，控制系统控制靶极和卷绕系统的工作，卷绕系统沿着绕卷基材薄膜的行进方向依次平行设置有放卷轴、第一张力辊、下主动辊、上主动辊、第二张力辊以及收卷轴，靶极对应上、下主动辊设置，真空室内部设置有光源发射器以及光束接收器，光束接收器连接有快速光谱仪，快速光谱仪与控制系统电性连接；真空室顶部设置有喷油装置，用以给真空室内部喷油润滑；真空室内部还设置有感应探头，感应探头电性连接有残余气体分析仪。本实用新型提供的一种卷绕镀膜机，可以提高产品的质量，满足用户的需求。

技术领域

本实用新型涉及工业镀膜设备，尤其涉及一种卷绕镀膜机。

背景技术

镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。随着电子工业的发展，对卷绕镀膜机的需求日益增长。但是，现有的卷绕镀膜机在使用时存在一定的弊端，主要有以下三个问题：第一：镀膜机内部的部件需要经常润滑，但手工喷洒润滑油太过费时费力，即提高了人工人本，又降低了生产的效率；第二：在镀膜的过程中，薄膜表面有残留的水气存在，镀膜之后的薄膜的结构会收到比较大的破坏，其光学性能也会受到很大影响，例如散射，吸收较大，导电性能下降，附着力低，传统的卷绕镀膜设备中没有相应的残余气体压强在线监控功能，也就没有办法估算薄膜表面的含水量，难以保证薄膜成膜质量；第三：对于薄膜产品，膜层厚度的精度是产品的重要指标，而现有的卷绕镀膜机没有有效的膜厚实时监控手段，使得产品质量难以满足需求，因此，针对上述问题提出一种多功能卷绕镀膜机。

实用新型内容

为解决现有技术的缺点和不足，提供一种卷绕镀膜机，从而提高产品的质量，满足用户的需求。

为实现本实用新型目的而提供的一种卷绕镀膜机，包括有真空室以及设置在真空室内部的卷绕系统和靶极，所述靶极和卷绕系统均连接有控制系统，所述控制系统控制所述靶极和卷绕系统的工作，所述卷绕系统沿着绕卷基材薄膜的行进方向依次平行设置有放卷轴、第一张力辊、下主动辊、上主动辊、第二张力辊以及收卷轴，所述靶极对应上、下主动辊设置，所述真空室内部设置有支架，所述支架上设置有光源发射器以及光束接收器，所述光源发射器连接有光源，所述光束接收器连接有快速光谱仪，所述快速光谱仪与所述控制系统电性连接，所述光源发射器以及光束接收器对应设置在所述第二张力辊与收卷轴之间，用以检测绕卷基材薄膜的厚度；所述真空室顶部设置有喷油装置，用以给真空室内部喷油润滑；所述真空室内部还设置有感应探头，所述感应探头电性连接有残余气体分析仪，所述感应探头与残余气体分析仪配合使用，以对真空室内气体监测。

作为上述方案的进一步改进，所述喷油装置包括有活动安装在真空室上端外侧的C2自动润滑器，所述C2自动润滑器内部固定安装有储油箱，所述储油箱的下端外侧穿过所述真空室的内表面设置有出油管，所述出油管的下端外侧活动安装有旋转喷头。

作为上述方案的进一步改进，所述出油管的直径设置为五厘米，所述旋转喷头的外表面设置有若干组喷水细孔。

作为上述方案的进一步改进，所述靶极设置有两排，两排靶极为互相平行设置。

作为上述方案的进一步改进，所述真空室连接有抽真空系统，所述抽真空系统设置为分子泵。

作为上述方案的进一步改进，所述放卷轴与第一张力辊之间设置有第一导向辊；所述收卷轴与第二张力辊之间设置有第二导向辊。

作为上述方案的进一步改进，所述光源发射器以及光束接收器对应设置在所述第二导向辊与收卷轴之间。