[实用新型]一种拉晶炉

权利要求书

1.一种拉晶炉，用于生产无缺陷硅单晶棒，其特征在于，包括：

内部设置有腔体的炉体；

坩埚，设置于所述腔体内；

侧部加热器，设置于所述坩埚的外侧；

保温层，设置在所述炉体的内壁上；

底部加热器，设置于所述坩埚底部与所述炉体底部的所述保温层之间；

其中，所述底部加热器包括若干个同心的环形加热部以及设置在所述环形加热部中的电极接口部，其中所述若干个同心的环形加热部之间通过所述电极接口部电连接。

2.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述底部加热器包括两个所述电极接口部，分别位于所述底部加热器的中心的两侧，其中，两个所述电极接口部的中心与所述底部加热器的中心位于同一直线上，并且两个所述电极接口部的中心与所述底部加热器的中心之间的距离相等。

3.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，不同所述环形加热部具有不同的形状，或者，至少任意两个所述环形加热部具有相同的形状。

4.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述电极接口部贯穿至少一个所述环形加热部的上下表面；和/或

所述电极接口部的四周侧壁向所述电极接口部所在的所述环形加热部的侧壁外凸出。

5.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述电极接口部的四周侧壁与该电极接口部外侧的每个所述环形加热部电连接。

6.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述拉晶炉还包括：电极支撑脚，所述电极支撑脚设置在所述坩埚的下方，固定在所述炉体的底部并向上贯穿所述保温层，所述底部加热器利用所述电极支撑脚支撑。

7.如权利要求6所述的拉晶炉，其特征在于，所述电极接口部具有通孔，所述电极支撑脚具有螺孔，所述通孔与所述螺孔通过螺栓固定，实现所述电极接口部与所述电极支撑脚的连接。

8.根据权利要求7所述的拉晶炉，其特征在于，在所述电极接口部与所述螺孔之间分别设置有导电垫片。

9.根据权利要求8所述的拉晶炉，其特征在于，所述螺栓的材料为石墨或C-C复合材料，所述导电垫片为石墨纸。

10.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述拉晶炉还包括：

坩埚托盘，设置于所述坩埚下方，其中，所述底部加热器设置在所述坩埚托盘和所述炉体底部的所述保温层之间。

11.根据权利要求10所述的拉晶炉，其特征在于，所述拉晶炉还包括坩埚支撑轴，设置在所述坩埚托盘的下方并与所述坩埚支撑轴连接，所述坩埚支撑轴用于支撑坩埚托盘并带动所述坩埚升降及旋转，其中，所述底部加热器具有中心通孔，所述支撑轴贯穿所述中心通孔。

12.根据权利要求11所述的拉晶炉，其特征在于，所述中心通孔的尺寸大于所述坩埚支撑轴的外径。

13.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，每个所述环形加热部关于经过所述底部加热器的中心以及所述电极接口部的中心的直线对称。

14.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述环形加热部的形状为圆环形、波浪形、多边环形或折线形。

15.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述若干个环形加热部的数量为3～8个。

16.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述底部加热器的材料为石墨或C-C复合材料，并为一体成型结构。

17.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，不同的所述环形加热部的半径尺寸分别在50mm～450mm之间。