[实用新型]双灯丝离子源装置

权利要求书

1.一种双灯丝离子源装置，其特征在于，所述装置包括：

电弧室，具有相对的第一侧壁和第二侧壁及一电离气体导入口，所述第一侧壁具有第一开口，所述第二侧壁具有第二开口；

第一自由电子产生元件，包括第一灯丝及第一热阴极，所述第一热阴极自所述第一开口陷入所述电弧室内，所述第一热阴极于所述第一灯丝加热作用下释放自由电子至所述电弧室内；

第二自由电子产生元件，包括第二灯丝及第二热阴极，所述第二热阴极自所述第二开口陷入所述电弧室内，所述第二热阴极于所述第二灯丝加热作用下释放自由电子至所述电弧室内；

电源供应装置，包括：

灯丝电源及灯丝电源转换开关，所述灯丝电源通过所述灯丝电源转换开关耦接至所述第一灯丝或所述第二灯丝；

偏置电源及偏置电源转换开关，所述偏置电源的负极耦接至所述第一灯丝及所述第二灯丝，所述偏置电源的正极通过所述偏置电源转换开关耦接至所述第一热阴极或所述第二热阴极；

电弧电源，所述电弧电源的正极耦接至所述电弧室，所述电弧电源的负极通过所述偏置电源转换开关耦接至所述第一热阴极或所述第二热阴极；

反射电源及反射电源转换开关，所述反射电源的正极耦接至所述电弧室，所述反射电源的负极通过所述反射电源转换开关耦接至所述第一热阴极或所述第二热阴极。

2.根据权利要求1所述的双灯丝离子源装置，其特征在于：所述灯丝电源转换开关、所述偏置电源转换开关及所述反射电源转换开关设置为双切换开关，所述双切换开关包括串接控制一电源回路的第一开关和第二开关及串接控制另一电源回路的第三开关和第四开关，其中，所述第一开关与所述第四开关互锁，所述第二开关与所述第三开关互锁。

3.根据权利要求1所述的双灯丝离子源装置，其特征在于：所述灯丝电源转换开关、所述偏置电源转换开关及所述反射电源转换开关设置为单刀双掷开关。

4.根据权利要求1所述的双灯丝离子源装置，其特征在于：所述双灯丝离子源装置还包括用于控制所述灯丝电源转换开关的灯丝电源控制模块、用于控制所述偏置电源转换开关的偏置电源控制模块及用于控制所述反射电源转换开关的反射电源控制模块。

5.根据权利要求1所述的双灯丝离子源装置，其特征在于：所述双灯丝离子源装置还包括设置于所述电弧室上的上盖板，所述上盖板中间形成一汲取所述离子源的汲取孔径。

6.根据权利要求1所述的双灯丝离子源装置，其特征在于：所述第一灯丝的材料选自由钨、钽、钼、铌、铪、铬、钒、锆及钛中的一种，所述第二灯丝的材料选自由钨、钽、钼、铌、铪、铬、钒、锆及钛中的一种。

7.根据权利要求1所述的双灯丝离子源装置，其特征在于：所述第一灯丝包括U型灯丝，所述第二灯丝包括U型灯丝。

8.根据权利要求1所述的双灯丝离子源装置，其特征在于：所述电离气体导入口导入的电离气体包括由含硼气体、含磷气体、含砷气体、含炭气体，含铟气体、含锗气体、含氩气体、含氮气体、含氙气体构成的群组中的一种。

9.根据权利要求1所述的双灯丝离子源装置，其特征在于：所述灯丝电源的电压介于0V～10V之间，所述偏置电源的电压介于0V～600V之间，所述电弧电源的电压介于0V～100V之间，所述反射电源的电压介于0V～200V之间。