[实用新型]光学元件的装调装置

说明书

本实用新型公开了一种光学元件的装调装置，包括用以固定装配基板的平台以及调整台，所述调整台包括：三维平移台、上旋转台、弧摆台和用以夹取镜框的夹具；所述三维平移台的工作面位于所述装配基板的上方；所述上旋转台固定安装在所述三维平移台的工作面上，所述弧摆台安装在所述上旋转台的工作面上，所述弧摆台能与所述上旋转台一起沿所述上旋转台的中心轴转动；所述夹具安装在所述弧摆台的工作面上，所述夹具能与所述弧摆台一起在竖直面内摆动一定角度。本实用新型的装置装配精度高，装配光学元件的误差能够控制在10μrad以内。

技术领域

本实用新型属于元件装调技术领域，具体来说涉及一种光学元件的装调装置。

背景技术

谐振腔是激光器的主要组成部分，它是由一系列光学元件按照严格的位置和倾斜角度装配组成。提高谐振腔的装配稳定性能够有效提高激光器的稳定性，使激光器能够在更为复杂的实验环境(如太空、外场实验等)下稳定运行。另一方面，激光器为了实现更多功能性要求，需要在有限的腔内空间装配更多的光学元件，这也是激光器装配的一个发展趋势。

目前光学元件的装调方式通常是将其固定在机械弹簧座架上，然后将座架手动移动到特定位置，再通过座架上的旋钮手动调节元件的倾斜角度。这种装调方式全程人工操作，一方面效率不高，另一方面并不能很好地满足精密装调的精度，且当存在外界震动等干扰因素时调整好的光学元件位置容易发生变化，这又会造成装调工作反复，效率低下。此外，机械弹簧座架占用腔内空间较大，且在狭小空间下手动调整不方便，这都造成光学元件密度无法提高，影响激光器的功能性。

目前市场上已有一些光学元件整体装调的产品，但是基本上都是针对大型元件和微型元件(<2mm)，对于厘米级别的小型尺度元件的产品很少，而很多激光器谐振腔所用装配元件都在这一尺度量级。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种光学元件的装调装置，该光学元件的装调装置可实现高稳定性高密度地装配厘米级别的光学元件。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种光学元件的装调装置，其特征在于，包括：用以固定装配基板的平台以及调整台，所述调整台包括：三维平移台、上旋转台、弧摆台和用以夹取镜框的夹具；

所述三维平移台的工作面位于所述装配基板的上方并朝向所述的装配基板；所述上旋转台固定安装在所述三维平移台的工作面上，所述弧摆台安装在所述上旋转台的工作面上，所述弧摆台能与所述上旋转台一起沿所述上旋转台的中心轴转动；所述夹具安装在所述弧摆台的工作面上，所述夹具能与所述弧摆台一起在竖直面内摆动一定角度。

在上述技术方案中，所述三维平移台固装在装配基板上方。

在上述技术方案中，还包括：平移架，所述三维平移台通过一沿水平方向设置的导轨滑动安装于所述平移架上。

在上述技术方案中，还包括：安装在所述平移架上的步进电机，所述步进电机通过同步带驱动所述三维平移台相对所述平移架沿水平方向移动。

在上述技术方案中，所述的夹具包括：对称设置的2个气动卡爪，每个所述气动卡爪均受控与一气瓶连通。

在上述技术方案中，还包括：用于将所述镜框调整至与所述弧摆台的摆动方向垂直的下旋转台，所述下旋转台安装在所述弧摆台的工作面上，在所述下旋转台的工作面上安装所述夹具。

在上述技术方案中，所述镜框包括中部形成有安装孔的矩形框体和嵌装在安装孔内的光学元件，所述框体左右两侧分别开有与所述气动卡爪相匹配的凹槽。

在上述技术方案中，所述框体内壁上形成有多个用于渗入胶水的凹陷槽。

在上述技术方案中，所述光学元件的尺寸为1～4cm，如2-3cm。

一种上述装调装置的使用方法，包括以下步骤：