[实用新型]一种磁控溅射镀膜设备中传动辊的拆卸装置

权利要求书

1.一种磁控溅射镀膜设备中传动辊的拆卸装置，其中，所述传动辊包括辊道以及插设于所述辊道中并与所述辊道过盈配合的轴头，所述轴头上设有键槽，其特征在于：所述拆卸装置包括套设在所述轴头外周部的间隔套，所述间隔套的一端与所述辊道的端部配合相连，所述间隔套的另一端与穿心式千斤顶的一端端部相抵接，所述穿心式千斤顶包括油腔、可沿所述油腔滑动的运动组件，所述穿心式千斤顶呈具有内部空腔的柱状，所述内部空腔中可活动的设有连接轴，所述连接轴的一端与所述轴头相连，所述连接轴的另一端与固定轴相连，所述固定轴与所述运动组件固定相连。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜设备中传动辊的拆卸装置，其特征在于：所述辊道、所述轴头、所述间隔套、所述穿心式千斤顶、所述内部空腔以及所述连接轴具有同一轴心线。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜设备中传动辊的拆卸装置，其特征在于：所述运动组件包括用以将所述油腔分隔为第一腔室和第二腔室的分隔板以及一端与所述分隔板相连的活塞杆，所述活塞杆的另一端伸出所述油腔且与所述固定轴相连，所述分隔板垂直所述穿心式千斤顶的轴心线，所述活塞杆的长度方向平行所述穿心式千斤顶的轴心线。

4.根据权利要求3所述的一种磁控溅射镀膜设备中传动辊的拆卸装置，其特征在于：所述第一腔室上设有第一注油孔，所述第二腔室上设有第二注油孔，所述第一注油孔和所述第二注油孔通过油管与液压系统相连。

5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜设备中传动辊的拆卸装置，其特征在于：所述固定轴的长度方向垂直所述连接轴的长度方向，所述固定轴位于所述内部空腔的外侧。

6.根据权利要求5所述的一种磁控溅射镀膜设备中传动辊的拆卸装置，其特征在于：所述连接轴上设有供所述固定轴穿过的连接孔。

7.根据权利要求6所述的一种磁控溅射镀膜设备中传动辊的拆卸装置，其特征在于：所述连接轴上还设有与所述连接孔相平行设置的备用孔。

8.根据权利要求7所述的一种磁控溅射镀膜设备中传动辊的拆卸装置，其特征在于：所述连接孔的轴心线以及所述备用孔的轴心线均与所述连接轴的轴心线相交。

9.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜设备中传动辊的拆卸装置，其特征在于：所述连接轴上设有供所述轴头配合穿入的穿孔，所述穿孔的侧壁上设有与所述轴头上的所述键槽配合的键条孔，所述穿孔、所述轴头以及所述连接轴的轴心线共线。

10.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜设备中传动辊的拆卸装置，其特征在于：所述间隔套的一端端部设有第一台阶，所述第一台阶与所述辊道的端部配合相连；所述间隔套的另一端设有第二台阶，所述第二台阶与所述穿心式千斤顶的端部配合相连。