[实用新型]发光器件近场测试装置及测试一体机有效
申请号: | 201821179876.7 | 申请日: | 2018-07-24 |
公开(公告)号: | CN208795458U | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 刘振辉;王业文;颜华江;杨波 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 任志龙 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 相机 发光件 物镜 测试构件 动力机构 发光器件 近场测试 驱动机构 一体机 载片台 测试 驱动 机座 束腰 测试装置结构 本实用新型 可驱动物镜 光斑 电极接触 光斑信息 图像分析 物镜运动 焦距 测试针 光参数 导通 放大 采集 承载 | ||
本实用新型公开了一种发光器件近场测试装置及测试一体机,包括机座,所述机座上设有用于承载被测发光件的载片台、用于与被测发光件电极接触的测试针、测试构件、以及于驱动所述测试构件靠近或远离所述载片台的驱动机构,所述测试构件包括物镜、相机以及驱动相机靠近或远离物镜的动力机构,驱动机构可驱动物镜和相机靠近或者远离载片台,使物镜运动至焦距位,将导通被测发光件的光斑情况通过物镜放大反应到相机上;动力机构可驱动相机靠近或者远离物镜,从而采集到若干个位置的光参数,通过相机内的软件进行图像分析,并找出其最小处,即可得到该被测发光件的束腰半径,这样测试装置结构简单,且光斑信息和束腰半径的测试更加精准。
技术领域
本实用新型涉及发光件检测技术领域,更具体地说,它涉及一种发光器件近场测试装置及测试一体机。
背景技术
现有发光件测试系统中,通过测试针接触发光件相应的电极,施加相应的电流后,点亮发光件,对其光参数进行检测,光参数的测试包括几个关键的参数,如光功率波长、远场发散角、近场光斑情况、近场束腰半径等。通常情形,激光谐振腔发出的基模辐射场,其横截面的振幅分布遵守高斯函数,故称高斯光束。高斯光束的传输特性,是在远处沿传播方向成特定角度扩散,该角度即是光束的远场发射角,也就是一对渐近线的夹角,它与波长成正比,与其束腰半径成反比,故而,束腰半径越小,光斑发散越快;束腰半径越大,光斑发散越慢。
发光件测试系统中的载片台用于承载被测发光件,光参数测试装置用于收集被测发光器件导通时发光面的光参数,现有技术中,发光件测试系统中的光参数测试装置在调节过程中较为不便,导致测试出的近场束腰半径信息与实际不符,有待改进。
实用新型内容
针对上述现有技术的不足,本实用新型的第一目的是提供发光器件近场测试装置,解决了发光件近场束腰半径测试不准确的问题。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种发光器件近场测试装置,包括机座,所述机座上设有用于承载被测发光件的载片台、用于与被测发光件电极接触的测试针、测试构件、以及于驱动所述测试构件靠近或远离所述载片台的驱动机构,所述测试构件包括物镜、相机以及驱动相机靠近或远离物镜的动力机构。
通过采用上述技术方案,驱动机构可驱动物镜和相机靠近或者远离载片台,使物镜运动至焦距位,将导通被测发光件的光斑情况通过物镜放大反应到相机上,并通过相机内的光学测试件采集光斑信息进行收集分析;动力机构可驱动相机靠近或者远离物镜,从而采集到若干个位置的光参数,通过相机内的光学测试件进行图像分析,并找出其最小处,即可得到该被测发光件的束腰半径,这样测试装置结构简单,且光斑信息和束腰半径的测试更加精准。
优选的,所述驱动机构包括设于所述机座上的固定板、滑移连接于所述固定板上的移动座、设于所述固定板一侧的驱动丝杆以及驱动所述驱动丝杆转动的驱动电机,所述固定板与所述机座固定,所述驱动丝杆的螺母座与所述移动座相连接;所述物镜和所述动力机构固定于所述移动座上。
通过采用上述技术方案,驱动电机能使驱动丝杆转动,驱动丝杆的螺母座带动移动座在固定板上滑移,带动固定于移动座上的物镜和动力机构移动,从而实现调节物镜和动力机构的位置,以使物镜和动力机构靠近或远离载片台;丝杆的传动效率及精度较高,从而使物镜和动力机构移动的方式较为精准和稳定。
优选的,所述固定板上设有滑轨,所述移动座上设有在所述滑轨上滑移的滑块。
通过采用上述技术方案,滑块与滑轨滑移配合,增加了移动座沿固定板移动的稳定性。
优选的,所述滑轨上设置有若干沿所述滑轨长度方向的凹槽。
通过采用上述技术方案,凹槽的设置,减少了滑块与滑轨的接触面积,从而减小移动座沿固定板移动时的摩擦力,减少驱动电机驱动的能源损耗。
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