[实用新型]微机械超声换能器有效
| 申请号： | 201821180891.3 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN209077097U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | M·H·莫蒂安纳加尔;P·斯迈斯 | 申请（专利权）人： | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;B06B1/10 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 赵志刚;魏利娜 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机械换能器 微机械超声换能器 电容 压电 垂直堆叠 共享电极 申请 | ||
1.一种微机械超声换能器，包括：
压电微机械换能器；和
电容微机械换能器，其与所述压电微机械换能器垂直堆叠；
其中所述压电微机械换能器和所述电容微机械换能器包括公共共享电极。
2.根据权利要求1所述的微机械超声换能器，进一步包括不超过三个电极。
3.根据权利要求1所述的微机械超声换能器，进一步包括底部电极，所述底部电极经配置以作为所述电容微机械换能器的下部板操作。
4.根据权利要求3所述的微机械超声换能器，进一步包括形成在所述底部电极上方的真空间隙，所述真空间隙经配置以形成所述电容微机械换能器的电介质。
5.根据权利要求4所述的微机械超声换能器，进一步包括设置在所述真空间隙上方的结构层。
6.根据权利要求4所述的微机械超声换能器，其中所述共享电极设置在所述真空间隙上方，并且所述共享电极经配置以作为所述电容微机械换能器的上部板操作。
7.根据权利要求1所述的微机械超声换能器，进一步包括：
压电材料层；和
顶部电极，其设置在所述压电材料层上方，所述顶部电极经配置以作为所述压电微机械换能器的第一电极操作。
8.根据权利要求7所述的微机械超声换能器，其中所述共享电极设置在所述压电材料层下方，并且经配置以作为所述压电微机械换能器的第二电极操作。
9.一种微机械超声换能器，包括：
电容微机械换能器；和
压电微机械换能器；
其中所述压电微机械换能器设置在微机械层堆叠中的所述电容微机械换能器上方并与所述电容微机械换能器横向对齐。
10.根据权利要求9所述的微机械超声换能器，包括由所述电容微机械换能器和所述压电微机械换能器共享的中间电极。
11.根据权利要求10所述的微机械超声换能器，其中所述压电微机械换能器包括：
顶部电极，其经配置以作为所述压电微机械换能器的第一电极操作；和
压电材料层，其设置在所述顶部电极下方。
12.根据权利要求11所述的微机械超声换能器，其中所述中间电极设置在所述压电材料层下方，并且经配置以作为所述压电微机械换能器的第二电极操作。
13.根据权利要求10所述的微机械超声换能器，其中所述电容微机械换能器包括设置在所述中间电极下方的结构板，并且其中所述中间电极经配置以作为所述电容微机械换能器的第一电极操作。
14.根据权利要求13所述的微机械超声换能器，其中所述电容微机械换能器包括形成在所述结构板下方的真空间隙，其中所述真空间隙经配置以形成所述电容微机械换能器的电介质。
15.根据权利要求13所述的微机械超声换能器，其中所述电容微机械换能器包括底部电极，所述底部电极经配置以作为所述电容微机械换能器的第二电极操作。
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