[实用新型]用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜有效
| 申请号： | 201821187420.5 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN208477222U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 曲轶;任永学;赵波 | 申请（专利权）人： | 前海盛德技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/10 | 分类号： | G02B27/10;G02B27/28;G02B5/08;G02B1/11;G02B5/02 |
| 代理公司： | 深圳市徽正知识产权代理有限公司 44405 | 代理人： | 李想 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 减反射膜 反射膜 扩散膜 偏振膜 全固态激光装置 本实用新型 十字型隔板 分光棱镜 介质膜层 光学膜 波长 贴合 下端 抗紫外线 同一水平 可测试 偏振片 隔开 黄变 反射 激光 直观 | ||
【权利要求书】：
1.用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜，包括反射膜(3)、减反射膜(5)、偏振膜(6)和扩散膜(7)，其特征在于：所述反射膜(3)、减反射膜(5)、偏振膜(6)以及扩散膜(7)均处于同一水平面上，且相互之间通过十字型隔板(4)隔开，所述反射膜(3)、减反射膜(5)、偏振膜(6)、扩散膜(7)以及十字型隔板(4)的下端均贴合有HR介质膜层(2)，所述HR介质膜层(2)的下端贴合有偏振片(1)。
2.根据权利要求1所述的用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜，其特征在于：所述反射膜(3)、减反射膜(5)、偏振膜(6)以及扩散膜(7)的大小以及厚度均一致。
3.根据权利要求1所述的用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜，其特征在于：所述十字型隔板(4)为挡光板，且通体表面涂布有黑漆。
4.根据权利要求1所述的用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜，其特征在于：所述偏振片(1)为平板型偏振片。
5.根据权利要求1所述的用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜，其特征在于：所述减反射膜(5)设置有双层。
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