[实用新型]一种圆形压电振子驱动微流体阀有效
申请号: | 201821188368.5 | 申请日: | 2018-07-26 |
公开(公告)号: | CN208967170U | 公开(公告)日: | 2019-06-11 |
发明(设计)人: | 吴越;刘江伟 | 申请(专利权)人: | 长春隆美科技发展有限公司 |
主分类号: | F16K31/02 | 分类号: | F16K31/02;F16K1/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 130000 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 圆形压电振子 柔性阀 弹性悬架 柔性支架 环形凹槽 塞安装孔 伸缩变形 微流体阀 本实用新型 驱动 流量调节 上下运动 水平伸缩 往复弯曲 中空圆柱 开闭阀 内侧壁 阀座 竖直 粘接 通电 放大 加工 | ||
1.一种圆形压电振子驱动微流体阀,包括:阀座(1)、柔性支架(2)、弹性悬架(3)、圆形压电振子(4)和柔性阀塞(5),其中:所述阀座(1)上布置有流体入口(11)和流体出口(12),所述流体入口(11)位于所述阀座(1)的中心位置;所述柔性支架(2)为中空圆柱,内外侧壁的中间部分分别加工有内侧壁圆弧凹槽(21)和外侧壁圆弧凹槽(22),且在其内侧壁圆弧凹槽(21)上又加工有环形凹槽(23),且所述环形凹槽(23)位于内侧壁圆弧凹槽(21)的上半部分圆弧位置;所述柔性支架(2)与所述阀座(1)外径相同,连接于所述阀座(1)的上表面;所述圆形压电振子(4)粘接在所述柔性支架(2)上端面,连同所述柔性支架(2)形成密封腔体;所述弹性悬架(3)布置于所述柔性支架(2)上的环形凹槽(23)内;所述弹性悬架(3)的中心部分布置有柔性阀塞安装孔(31),将所述柔性阀塞(5)固定于所述柔性阀塞安装孔(31)内。
2.根据权利要求1所述的圆形压电振子驱动微流体阀,其特征在于:所述圆形压电振子(4)采用由一片压电薄片材料(41)粘贴在弹性基板(42)上形成的单晶片压电振子,或由两片压电薄片材料(41)粘贴在弹性基板(42)两侧形成的双晶片压电振子。
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