[实用新型]一种用于多晶硅铸锭炉的石墨组件有效
申请号: | 201821190450.1 | 申请日: | 2018-07-26 |
公开(公告)号: | CN208667902U | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 杨定勇;郭茂勇 | 申请(专利权)人: | 扬州晶樱光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人: | 于贺贺;朱进 |
地址: | 225600 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 接杆 接孔 多晶硅铸锭炉 本实用新型 螺纹口结构 石墨材料 石墨组件 导热 工作效率 使用寿命 向前延伸 导出 放入 制作 | ||
本实用新型公开一种用于多晶硅铸锭炉的石墨组件,包括前端石墨接杆、后端石墨接杆和测熔石墨接杆;所述前端石墨接杆中从其后端向前延伸设置有接孔,并且该接孔的端部设置为螺纹口结构;而所述的后端石墨接杆的前后端则同样设置有螺纹口结构的接孔;所述的前端石墨接杆的后端接孔与后端石墨接杆的前端接孔相对应。本实用新型中整体结构为石墨材料制成,设置有前端石墨接杆、后端石墨接杆以及放入至多晶硅铸锭炉的测熔石墨接杆;通过石墨材料制作,其整体结构更加导热,测熔石墨接杆上的热量容易导出到前端和后端石墨接杆上增加整体结构的使用寿命,本装置每30炉才需要更换一根测熔石墨接杆,大大降低了成本并提高了工作效率。
技术领域
本实用新型涉及多晶硅铸锭炉测熔化及结晶的工具设备,具体的说是一种用于多晶硅铸锭炉的石墨组件。
背景技术
现有多晶硅铸锭炉中,其炉顶需要放置同于测炉体内熔化程度以及结晶度的设备,现有技术中多采用实心的石英棒组件作为测熔化设备,但是现有的这种石英棒的导热、散热效果以及耐熔化的能力均较差,多晶硅铸锭炉在使用的时候每2炉就要更换一根石英棒,所需成本非常高;并且石英棒的结构由于设置为实心结构因此更换的时候也存在诸多的不便,不方便更换,影响工作效率和工作质量。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有技术存在的不足,提供一种用于多晶硅铸锭炉的石墨组件。
技术方案:本实用新型解决问题所采用的技术方案为:一种用于多晶硅铸锭炉的石墨组件,包括前端石墨接杆、后端石墨接杆和测熔石墨接杆;所述前端石墨接杆中从其后端向前延伸设置有接孔,并且该接孔的端部设置为螺纹口结构;而所述的后端石墨接杆的前后端则同样设置有螺纹口结构的接孔;所述的前端石墨接杆的后端接孔与后端石墨接杆的前端接孔相对应;并且两个相对应的接孔中安装有对接丝杆;而所述的测熔石墨接杆则可拆卸安装在后端石墨接杆的后端接孔中。
作为优选,所述的前端石墨接杆的前端头部还设置有钨丝孔,该钨丝孔连通到前端石墨接杆的接孔中;并且该钨丝孔中还安装有吊装钨丝;该吊装钨丝穿过钨丝孔安装在该接孔的前端。
作为优选,所述的测熔石墨接杆的前端设置有螺纹结构,测熔石墨接杆通过螺纹可拆卸安装。
作为优选,所述的后端石墨接杆的前后端接孔还向内侧延伸最终形成一通孔结构。
有益效果:本实用新型与现有技术相比,具有以下优点:本实用新型中整体结构为石墨材料制成,设置有前端石墨接杆、后端石墨接杆以及放入至多晶硅铸锭炉的测熔石墨接杆;通过石墨材料制作,其整体结构更加导热,测熔石墨接杆上的热量容易导出到前端和后端石墨接杆上增加整体结构的使用寿命,本装置每30炉才需要更换一根测熔石墨接杆,大大降低了成本并提高了工作效率;而且本装置内部设置接孔增加导热性以及在接孔中设置对接丝杆和螺纹将整体结构设置为三段式可拆分结构,每段石墨接杆的安装和拆换都非常的方便,并且可分段更换不用整体更换,更加的节省成本。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例,进一步阐明本实用新型,本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施,应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。
如图1所示,一种用于多晶硅铸锭炉的石墨组件,包括前端石墨接杆1、后端石墨接杆2和测熔石墨接杆3;所述前端石墨接杆1中从其后端向前延伸设置有接孔4,并且该接孔4的端部设置为螺纹口结构;而所述的后端石墨接杆2的前后端则同样设置有螺纹口结构的接孔4;所述的前端石墨接杆2的后端接孔4与后端石墨接杆2的前端接孔4相对应;并且两个相对应的接孔4中安装有对接丝杆5;而所述的测熔石墨接杆3则可拆卸安装在后端石墨接杆2的后端接孔4中。
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