[实用新型]基于数字散斑干涉的机械手重复定位精度测量装置

权利要求书

1.一种基于数字散斑干涉的机械手重复定位精度测量装置，包括机械手，所述机械手包括其末端用于安装手爪部的手臂部(2)，其特征在于，还包括：

设置于所述手臂部(2)末端的纳米调整台(4)，

其位置与地面相对固定的、且具有漫反射表面的定位靶(5)，

用于向所述定位靶(5)的漫反射表面发射定位光束的激光发生单元，以及

用于接收从所述漫反射表面反射的光线从而在其内呈现散斑图像、且与所述纳米调整台(4)电路连接的定位相机(6)；

所述激光发生单元末端的出光元件以及所述定位相机(6)均固定于所述纳米调整台(4)上。

2.根据权利要求1所述的基于数字散斑干涉的机械手重复定位精度测量装置，其特征在于，所述纳米调整台(4)和定位相机(6)均与计算机(7)电路连接。

3.根据权利要求1所述的基于数字散斑干涉的机械手重复定位精度测量装置，其特征在于，所述纳米调整台(4)包括：

可沿X轴、Y轴、Z轴平移移动纳米平移台(401)，以及

设置于所述纳米平移台(401)上并能够围绕A轴、B轴、C轴转动的纳米旋转台(402)，所述A轴、B轴、C轴相互垂直布置；

所述激光发生单元末端的出光元件以及所述定位相机(6)均固定于所述纳米旋转台(402)上。

4.如权利要求3所述的基于数字散斑干涉的机械手重复定位精度测量装置，其特征在于，所述A轴与所述X轴同向延伸设置，所述B轴与所述X轴同向延伸设置，所述C轴与所述Z轴同向延伸设置。

5.如权利要求1所述的基于数字散斑干涉的机械手重复定位精度测量装置，其特征在于，所述激光发生单元包括沿着光路方向依次设置的：

激光发生器(9)，

光纤(10)，

光纤准直器(11)，

小孔光阑，以及

扩束镜(13)；

所述光纤准直器(11)、所述小孔光阑和所述扩束镜(13)固定于所述纳米调整台(4)上。

6.如权利要求1所述的基于数字散斑干涉的机械手重复定位精度测量装置，其特征在于，所述定位靶(5)的所述漫反射靶面上设置有沿圆周方向均匀布置的三个镜面(14)，所述三个镜面(14)处于同一平面内，所述定位相机(6)处固定设置有与所述三个镜面分别对应的三个激光位移传感器(8)。

7.如权利要求6所述的基于数字散斑干涉的机械手重复定位精度测量装置，其特征在于，所述定位靶(5)的所述漫反射靶面刻制有圆的“O”形图案以及位于所述“O”形图案中心处的“十”字形图案。

8.一种基于数字散斑干涉的机械手重复定位精度测量装置，包括机械手，所述机械手包括其末端用于安装手爪部的手臂部(2)；

其特征在于，所述手臂部(2)的所述末端还设置有一纳米调整台(4)，所述纳米调整台(4)上安装有具有漫反射表面的定位靶(5)，还包括：

用于向所述定位靶(5)的漫反射表面发射定位光束的激光发生单元，以及

用于接收从所述漫反射表面反射的光线从而在其内呈现散斑图像、且与所述纳米调整台(4)电路连接的定位相机(6)；

所述激光发生单元末端的出光元件以及所述定位相机(6)的位置与地面相对固定。