[实用新型]一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置有效
| 申请号： | 201821191396.2 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN209060862U | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 张奎;冉康德;林百志;刘彬;张剑明 | 申请（专利权）人： | 福建德尔科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74;B01D53/81;C07C19/08;C07C17/38;C07C17/395 |
| 代理公司： | 南昌赣专知识产权代理有限公司 36129 | 代理人： | 刘锦霞 |
| 地址： | 364200 福建省龙岩*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吸附筒 氧化性物质 除尘装置 四氟甲烷 本实用新型 出气管路 进气管路 尾气管路 再生气体 出气口 分解 进气口连接 精馏系统 目标产物 稳定运行 杂质气体 提纯 除掉 微氧 检测 保证 生产 | ||
1.一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置，其特征在于，包括CF4进气管路（2）、吸附筒一（3）、吸附筒二（14）、再生气体管路（1）、CF4出气管路（5）、尾气管路（7）、除尘装置（4）、微氧检测仪器（6），所述CF4进气管路（2）分别与吸附筒一（3）、吸附筒二（14）的进气口连接，所述吸附筒一（3）、吸附筒二（14）的出气口通过管路与除尘装置（4）连接，所述除尘装置（4）还与所述CF4出气管路（5）连接，所述再生气体管路（1）分别与吸附筒一（3）、吸附筒二（14）的出气口连接，所述吸附筒一（3）、吸附筒二（14）还与所述尾气管路（7）连接。
2.根据权利要求1所述的一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置，其特征在于，所述微氧检测仪器（6）通过管路连接在所述除尘装置（4）的进气管路上。
3.根据权利要求1所述的一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置，其特征在于，所述吸附筒一（3）、吸附筒二（14）中设有脱氧剂，所述脱氧剂可用氢气活化。
4.根据权利要求1所述的一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置，其特征在于，所述一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置中还设有电磁阀、PLC、显示面板。
5.根据权利要求4所述的一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置，其特征在于，所述微氧检测仪器（6）通过导线与所述PLC连接，所述PLC还与所述显示面板和电磁阀连接。
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