[实用新型]工件转移设备

说明书

工件转移设备包括载置表面、非接触卡盘和抽取机构。载置表面接收一个在另一个上方堆叠的工件。非接触卡盘位于工件上方以吸引最上方工件。抽取机构通过使由卡盘吸引的最上方工件沿预定抽取方向横向滑动来抽取最上方工件。本实用新型提供了减少转移工件所需要的时间的工件转移设备。

技术领域

本公开涉及用于将在载置表面上一个在另一个上方堆叠的多个工件从顶部依次转移的设备和方法。

背景技术

传统地，提出了包括供非接触卡盘安装的基部构件和使该基部构件移动的移动机构的设备和使用该设备的方法(例如，参照日本特开2012-142491号公报)。在以上文献中公开的非接触卡盘被称为伯努利卡盘(Bernoulli chucks)，其从设置于各卡盘的抽吸表面的多个喷出口以辐射状喷出高压空气。利用该构造，从各卡盘的抽吸表面与工件之间的间隙朝向外周排出空气，并且气流在中央部分产生负压。上述卡盘利用负压吸引工件而不接触工件。

在日本特开2012-142491号公报中公开的设备中，非接触卡盘吸引一个在另一个上方堆叠的多个工件中的最上方的一个工件，并且诸如并联机构机器人的移动机构移动供卡盘安装的基部构件以转移工件。

实用新型内容

在日本特开2012-142491中公开的设备和方法中，通过诸如并联机构机器人的移动机构来移动供吸引工件的非接触卡盘安装的基部构件。因而，在完成最上方工件的转移之后，下一工件不能被吸引，直到移动机构和基部构件(卡盘)返回到最初的吸引位置。为此，在减少从最上方工件开始被转移到正好位于下方的工件开始被转移所需要的时间方面存在限制。

因此，本实用新型的目的是提供减少转移工件所需要的时间的工件转移设备和工件转移方法。

根据本实用新型的一个方面，提供工件转移设备，其包括：载置表面，其用于接收一个在另一个上方堆叠的多个工件；非接触卡盘，其位于所述工件上方以吸引最上方工件；以及抽取机构，其通过使由所述卡盘吸引的所述最上方工件在预定抽取方向上横向滑动来抽取所述最上方工件。

优选地，所述卡盘是沿所述抽取方向配置并且彼此间隔开的多个卡盘中的一个卡盘。

优选地，所述工件转移设备还包括处于与所述工件相邻位置的阻断构件，其中，所述阻断构件在所述载置表面与所述卡盘的下表面之间的距离上延伸，并且所述阻断构件限制所述最上方工件在不同于所述抽取方向的方向上横向滑动。

优选地，所述工件转移设备还包括移位机构，所述移位机构以如下方式选择性地升起和降低所述载置表面和所述卡盘的下表面中的至少一者：使所述最上方工件与所述卡盘的下表面之间的距离在允许所述最上方工件被吸引的预定范围内。

优选地，所述抽取机构包括抽取致动器，其沿水平方向抽取所述最上方工件。

根据本实用新型的另一方面，提供用于将在载置表面上一个在另一个上方堆叠的多个工件从顶部依次转移的方法。该方法包括：使用非接触卡盘吸引最上方工件并且通过使由卡盘吸引的最上方工件横向滑动而沿抽取方向抽取最上方构件。

本实用新型减少了转移工件所需要的时间。

本实用新型的其它方面和优势将从结合附图借助于示例说明本实用新型的原理的以下说明中变得明显。

附图说明

图1是根据一个实施方式的工件转移设备的平面图。

图2是沿着图1中的线2-2截取的截面图。

图3A、图3B、图4A和图4B是按时间顺序示出利用图1的工件转移设备转移工件的步骤的侧视图。

图5是对应于图2的示出升降台的顶板位于基板上方的状态的截面图。

图6是根据变型例的抽取机构和周围结构的侧视图。