[实用新型]一种镀膜设备

说明书

本实用新型公开一种镀膜设备，涉及氢气检测技术领域，为检测镀膜设备中的运输腔中是否存有氢气而设计。所述镀膜设备包括：氢气检测装置；所述氢气检测装置包括：检测管，所述检测管的一端与所述排气管连通；氢气检测元件，所述检测管的另一端与所述氢气检测元件连通；提示元件，所述提示元件与所述氢气检测元件电连接，且配置为提示所述检测管内具有氢气。本实用新型提供的镀膜设备具有氢气检测功能。

技术领域

本实用新型涉及氢气检测技术领域，尤其涉及一种具有氢气检测功能的镀膜设备。

背景技术

现有的镀膜设备，例如：化学气相沉积(CVD)镀膜设备、低压化学气相沉积(LPCVD)镀膜设备、常压化学气相沉积(APCVD)或等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)镀膜设备的运输腔均未设置氢气检测装置，而是利用排气管将运输腔中的气体抽出并直接排放，实际中，运输腔可能会残留反应腔漏出的氢气，氢气受热易燃烧甚至爆炸，若将具有氢气的气体直接排放，会存在安全隐患；氢气在高温环境下易对真空器材造成损坏，减少设备使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种镀膜设备，主要目的是检测运输腔中是否存有氢气。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种镀膜设备，所述镀膜设备包括排气管和运输腔，所述排气管与所述运输腔连通，所述镀膜设备还包括：氢气检测装置；所述氢气检测装置包括：

检测管，所述检测管的一端与所述排气管连通；

氢气检测元件，所述检测管的另一端与所述氢气检测元件连通；

提示元件，所述提示元件与所述氢气检测元件电连接，且配置为提示所述检测管内具有氢气。

本实用新型实施例提供的镀膜设备，通过氢气检测装置能够实时检测出排气管内是否存有氢气，进而确定运输腔中是否存有氢气，并通过提示元件发出提示信号，这样就可避免将含有氢气的气体直接排放，也便于及时发现镀膜设备的运输腔和反应腔之间存在泄漏现象。

可选的，所述氢气检测元件可拆卸安装在所述排气管上。

可选的，所述氢气检测元件通过U型螺栓安装在所述排气管上。

可选的，所述氢气检测元件固定在底座上，所述底座通过所述U型螺栓安装在所述排气管上。

可选的，所述氢气检测元件与所述提示元件集成为氢气检测报警器。

可选的，所述氢气检测装置还包括：粉尘过滤装置，所述粉尘过滤装置的入口与所述检测管连通，所述粉尘过滤装置的出口与所述氢气检测元件连通。

可选的，所述氢气检测装置还包括：甲烷收集装置，所述甲烷收集装置的入口与所述粉尘过滤装置的出口连通，所述甲烷收集装置的出口与所述氢气检测元件连通。

可选的，所述氢气检测装置还包括：干燥装置，所述干燥装置的入口与所述甲烷收集装置的出口连通，所述干燥装置的出口与所述氢气检测元件连通。

可选的，所述检测管螺纹连接在所述排气管上。

可选的，所述排气管上开设有螺纹检测孔，且所述螺纹检测孔配置有可拆卸的堵塞件。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种氢气检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种镀膜设备的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型实施例镀膜设备进行详细描述。