[实用新型]翻盖式芯片测试机

说明书

本实用新型公开了一种翻盖式芯片测试机，旨在提供一种使用方便、便于维护、降低维修成本、能提高芯片的定位精度及可灵活配置芯片测试的排布的翻盖式芯片测试机。本实用新型包括通道测试机，所述通道测试机上设置有若干个转接板凹槽，所述转接板凹槽上适配设置有测试转接板，所述测试转接板上设置有翻盖式测试模块，所述翻盖式测试模块包括底板及盖板，所述盖板铰接在所述底板上，所述底板上设置有与被测芯片相适配的芯片放置槽，所述盖板上设置有与所述芯片放置槽相配合的压头凸块。本实用新型应用于一种测试机的技术领域。

技术领域

本实用新型涉及一种测试机,特别涉及一种翻盖式芯片测试机。

背景技术

作为重要的专用设备，集成电路测试设备不仅可判断被测芯片或器件的合格性，还可提供关于设计、制造过程的薄弱环节信息，有助于提高芯片制造水平。目前集成电路的测试设备主要包括测试机、分选机和探针台等，其中：测试机是检测芯片功能和性能的专用设备，其对芯片施加输入信号，采集被测试芯片的输出信号与预期值进行比较，判断芯片在不同工作条件下功能和性能的有效性。分选机和探针台是将芯片的引脚与测试机的功能模块连接起来并实现批量自动化测试的专用设备。 在设计验证和成品测试环节，测试机需要和分选机配合使用；在晶圆检测环节，测试机需要和探针台配合使用。

为了满足批量生产，测试机是多通道并行测试的，多个待测芯片会放置在同一承载芯片的载板上，此时一旦载板上某个通道出现问题，维护时就会影响其他通道的测试；载板上某一通道需要维修时就需要维修整个载板，故存在不便于维护及维修成本高的问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供了一种使用方便、便于维护、降低维修成本、能提高芯片的定位精度及可灵活配置芯片测试的排布的翻盖式芯片测试机。

本实用新型所采用的技术方案是：本实用新型包括通道测试机，所述通道测试机上设置有若干个转接板凹槽，所述转接板凹槽上适配设置有测试转接板，所述测试转接板上设置有翻盖式测试模块，所述翻盖式测试模块包括底板及盖板，所述盖板铰接在所述底板上，所述底板上设置有与被测芯片相适配的芯片放置槽，所述盖板上设置有与所述芯片放置槽相配合的压头凸块。

进一步，所述转接板凹槽为八个。

进一步，所述盖板上设置有若干个导向孔，所述导向孔与被测芯片相配合。

进一步，所述导向孔为八个。

进一步，所述底板上设置有卡槽，所述盖板上设置有与所述卡槽相适配的卡扣。

本实用新型的有益效果是：由于本实用新型包括通道测试机，所述通道测试机上设置有若干个转接板凹槽，所述转接板凹槽上适配设置有测试转接板，所述测试转接板上设置有翻盖式测试模块，所述翻盖式测试模块包括底板及盖板，所述盖板铰接在所述底板上，所述底板上设置有与被测芯片相适配的芯片放置槽，所述盖板上设置有与所述芯片放置槽相配合的压头凸块，本实用新型将芯片分开独立测试，每个所述芯片放置槽只能放置一个芯片，当所述翻盖式测试模块需要维护或维修时，只需取出需要维护的所述测试转接板及需要维护的所述翻盖式测试模块，若干个所述翻盖式测试模块之间互不影响，可根据实际需求来灵活配置若干个所述翻盖式测试模块的排布，使用时，将待测芯片放入所述芯片放置槽中，所述芯片放置槽的定位槽边与待测芯片相适配，使得芯片放置槽能够对待测芯片实现高精度的定位，所以，本实用新型具有使用方便、便于维护、降低维修成本、能提高芯片的定位精度及可灵活配置芯片测试的排布的优点。

附图说明

图1是本实用新型在翻盖式测试模块关闭状态下的立体结构示意图；

图2是本实用新型在翻盖式测试模块打开状态下的立体结构示意图；

图3是翻盖式测试模块打开状态下的立体结构示意图。

具体实施方式