[实用新型]一种多晶硅还原炉电极绝缘结构有效
| 申请号： | 201821203559.4 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN208561706U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 盛斌;陈丞浩;殷亚军 | 申请（专利权）人： | 江苏双良新能源装备有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;H01B17/58 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 隋玲玲 |
| 地址： | 214444 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 绝缘磁环 四氟套 铜电极 底盘 多晶硅还原炉 本实用新型 绝缘结构 上表面 电极 硅粉 二次污染 紧密配合 绝缘效果 内部间隙 产能 四氟 外圆 还原 积累 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅还原炉电极绝缘结构，其特征在于：包括底盘（1）、四氟套（2）、第一绝缘磁环（3）、第二绝缘磁环（4）、第三绝缘磁环（5）和铜电极（6），所述铜电极（6）的外圆与四氟套（2）套装，并通过四氟套（2）与底盘（1）紧密配合，所述第一绝缘磁环（3）设置在底盘（1）的上表面，所述第三绝缘磁环（5）套装在铜电极（6）的头部，所述第三绝缘磁环（5）设有台阶，所述台阶压在第一绝缘磁环（3）的上表面，所述第二绝缘磁环（4）位于第三绝缘磁环（5）的外侧。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极绝缘结构，其特征在于：所述第三绝缘磁环（5）采用氮化硅材质。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极绝缘结构，其特征在于：所述第二绝缘磁环（4）材质为不透明石英或氧化铝,外侧设置圆弧形波节。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极绝缘结构，其特征在于：所述第三绝缘磁环（5）与铜电极（6）的头部间隙配合，单侧间隙为0.1-0.2mm。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极绝缘结构，其特征在于：所述四氟套（2）低于底盘（1）的上表面4-5mm。
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